Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9398277 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE
ID: 9398277
Wafergröße: 12"
Etchers, 12".
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE ist ein voll ausgestatteter Ätzer (auch bekannt als Ascher), der speziell auf die hohen Standards der Halbleiterindustrie ausgerichtet ist. Als Teil der TEL/TOKYO ELECTRON Semiconductor Process Equipment Lineup ist es das ideale Werkzeug für präzises Mikrochip-Ätzen und bietet betriebliche Flexibilität, Genauigkeit und Durchsatz. Wie bei anderen TEL-Geräten ist es so gebaut, dass es langlebig ist und konsistente Ergebnisse bei minimaler Wartung liefert. TEL SCCM TE hat eine Vielzahl von erweiterten Funktionen. Es ist mit einem leistungsstarken 885MHz (Seitenwand) HF-Generator ausgestattet, der einen breiten Frequenzbereich von 100 kHz bis 22GHz bereitstellen kann. Für das genaue Ätzen zeigt die Einheit eine fakultative, Hochleistungshohe Genauigkeit Load Matching Network (LMN) für den genauen Scheinwiderstand, der zum Substrat für die Übertragungsleistungsfähigkeit der maximalen Leistung zusammenpasst. Der LMN ermöglicht auch eine weiträumige aktive Betriebsfrequenz und Source-Matching ohne Verzerrung. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON SCCM-TE über einen 4-Kanal-Slidecabinet-Plattenspieler, der eine unerwartete Vielseitigkeit bei der Verwaltung verschiedener Ätzkonfigurationen für mehrere Substrate ermöglicht. Reaktionskugelmotoren mit variabler Geschwindigkeit sorgen für eine glatte, schwingungsarme Retikeldrehung und eine präzise Bewegung beim Beschleunigen oder Verzögern. Das Gerät hat auch ein ergonomisches Design, mit einer verstellbaren Bedienerkonsole, Touchscreen-Schnittstelle und einem geräumigen Auflösungstisch. SCCM TE enthält auch ein integriertes vertikales Transportsystem (VTS), das das Hängen und Stapeln von Retikeln eliminiert, was zu einer verbesserten Produktivität und einem verbesserten Durchsatz führt. Der VTS ermöglicht auch die 4-Wege-Rotation von Substraten nach oben und unten, links und rechts. Darüber hinaus verfügen die Lösungen über ein optionales MEMS-Spannfutter, Zeilenheizer und OES-Sensoren (optisches Emissionssystem) zur präzisen Erfassung von Ätzparametern wie Temperatur und Substratprofil. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON SCCM TE mit einer Software ausgestattet, die es ermöglicht, den Ätzprozess zu beschleunigen, indem der Endpunkt der Ätzung vorhergesagt, die Bewegung über den CCD-Sensor überwacht und der Prozessverlauf angezeigt wird. Seine intuitive, benutzerfreundliche Bedienung und Bedienungsflexibilität bieten ein hohes Maß an Produktionsanpassung. Auf diese Weise können Arbeitsplätze effizienter und präziser erledigt und die Gesamtproduktivität verbessert werden. TEL SCCM-TE ist in der Halbleiterindustrie hoch bewertet, mit einem Ruf für zuverlässige Ergebnisse, Geschwindigkeit und Genauigkeit. Daher ist es eine ausgezeichnete Wahl für das Ätzen von empfindlichen Bauelementen und Halbleiterchips. Seine erweiterten Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einem großen Kapital für Unternehmen, die genaue Ätz- oder substratspezifische Operationen durchführen müssen.
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