Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #9192402 zu verkaufen

ID: 9192402
Wafergröße: 12"
Chamber, 12" With turbo pump.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschetechnologie, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. TEL SCCM ist in der Lage, hochpräzise Ätzprozesse in einer Hochgeschwindigkeits- und Tieftemperaturverarbeitungsumgebung durchzuführen. Diese Technologie wird bei der Herstellung fortschrittlicher elektronischer Bauelemente und Halbleiterbauelemente wie Halbleiterchips eingesetzt. TOKYO ELECTRON SCCM Ascher verwendet einen Plasmaätzprozess, um elektrische Schaltungen mit höchster Genauigkeit zu schaffen. Die Ätzung erfolgt durch Verwendung eines Magnesiumhalogenidgases zur Erzeugung eines ionisierten Plasmas. Dann werden elektrische Signale an die Oberfläche des zu ätzenden Substrats angelegt und das Plasma reagiert auf dieses Signal, um das Material selektiv zu zerlegen und Muster im Substrat zu bilden. Dies wird als reaktives Ionenätzen (RIE) bezeichnet. Der SCCM-Ätzer ist so konzipiert, dass er mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel ist, sodass Benutzer mehrere Generationen von Chips produzieren können. TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Ätzer bietet extrem schnelle Leistung und niedrige Prozesstemperaturen, wodurch Produktionszeiten und Kosten deutlich reduziert werden. Durch diesen Vorgang wird die Ätzzeit reduziert und gleichzeitig enge/glatte/detaillierte Profile mit minimalen gewünschten Ionenschäden am Halbleitermaterial erzeugt. Das Verfahren hilft auch dabei, Oxid- und Passivierungsschichten aufrechtzuerhalten. TEL SCCM Ätzer enthält auch Merkmale wie ein in situ spektroskopisches Endpunktdetektionssystem, das den Ätzprozess in Echtzeit überwacht und das Vorhandensein der geätzten Schicht im Halbleiter detektiert. Dieses System ermöglicht es Benutzern, den genauen Ätzpunkt mit großer Genauigkeit und Sicherheit genau zu bestimmen, so dass sie maximale Erträge in der Geräteherstellung erzielen können. TOKYO ELECTRON SCCM enthält auch ein fortschrittliches hochauflösendes Wafermikroskop, mit dem Benutzer den Ätzprozess anzeigen und Ätztiefen bestätigen können. Insgesamt ist SCCM eine leistungsstarke und vielseitige Ätz-/Aschentechnologie, die für eine schnelle, detaillierte und genaue Schaltungsbildung entwickelt wurde. Die Fähigkeit, in Kombination mit seinen schnellen Ätzgeschwindigkeiten und niedrigen Prozesstemperaturen genau auf die Substratschicht abzuätzen, macht TEL/TOKYO ELECTRON SCCM wirklich zu einem revolutionären Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor