Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9038420 zu verkaufen
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ID: 9038420
SCCM Shin etchers, 12"
(4) Load ports
Type of carrier: Foup 25 Wafers
Process: Oxide Etch
Wafer type: 300mm V notch.
Wafer mapping: Yes
FFU(ULPA Filter): >99.9999% 0.12um
Process kit: Shin Kit
Chuck: Ceramic ESC
Generator: Daihan MGA50E , AGA 50B2
Slow & Fast pumping: Yes
Gasline piping type: ARDC
MFC: Unit 8561
MFC Type: Anlog/Digital MFC
MFC control mode: Analog control
Chiller: FST HC308136
Power Line 1:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 140 A
Ampere rating of largest load: 120 A
Power Line 2:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 130 A
Ampere rating of largest load: 110 A
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS Etcher/Asher ist ein Hochleistungs-Ätz-/Ascheprozesswerkzeug, das herausragende Präzision und fortschrittliche Prozessfähigkeiten bietet. Diese Ausrüstung wird verwendet, um dünne Filme und andere Materialien in Prozessen wie Halbleiterherstellung und OLED-Displays zu produzieren. TEL T-3055SS ist eine vollautomatische Ätz-/Ascheprozessplattform, die hervorragende Anpassungsmöglichkeiten und eine präzise Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses bietet. Die Maschine bietet schnelle, hochpräzise Ätz-/Aschezykluszeiten von bis zu 9 Sekunden je nach Material und Prozessparameter. TOKYO ELECTRON T-3055SS ist mit einem einzigartigen Elektrodensystem zum Ätzen und Aschen ausgestattet, das eine höhere Genauigkeitsrate als herkömmliche Ätz- und Aschetechniken gewährleistet. Die Elektrode arbeitet mit zwei internen Heizgeräten und einer verstellbaren Düseneinheit zusammen, die in der Lage sind, während des Ätz- und Aschevorgangs eine konstante Temperatur aufrechtzuerhalten. Dies ermöglicht eine effiziente und präzise Ätz-/Ascheprozesssteuerung für dünne Folien und andere Materialien. Die Maschine ist zudem mit einer integrierten Sichtmaschine ausgestattet, die eine automatische Einstellung der Ätz-/Ascheprozessparameter ermöglicht. T-3055SS ist so konzipiert, dass es einfach und bequem ist, verschiedene Prozesse durchzuführen. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, den Ätz-/Ascheprozess schnell und mit minimalem Aufwand einzurichten, zu überwachen und zu steuern. Die Maschine verfügt außerdem über eine optionale Lastsperre, um das Be- und Entladen von Proben zu automatisieren. Dadurch können mehrere gleichzeitige Prozesse durchgeführt werden. TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS ist ein zuverlässiges Ätz-/Aschewerkzeug für den Einsatz in der Serienproduktion. Es ist mit einer breiten Palette von Prozess- und Optionspaketen erhältlich, die an alle spezifischen Anforderungen angepasst werden können. Eine integrierte Prozessüberwachung erfasst alle Programm-, Prozess- und Gerätedaten und bietet Anwendern längerfristige Analysen und Prozessoptimierungen. Darüber hinaus verfügt TEL T-3055SS über ein sicheres und zuverlässiges Betriebsmodell, das eine stabile Leistung gewährleistet und ein hohes Maß an Sicherheit und Zuverlässigkeit bietet. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON T-3055SS eine ausgezeichnete Wahl für Unternehmen, die die Präzision und Effizienz des Ätz-/Ascheprozesses maximieren möchten. Es bietet hervorragende Automatisierungs- und Anpassungsfunktionen und bietet gleichzeitig eine benutzerfreundliche Oberfläche und zuverlässige Leistung.
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