Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9211146 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS
ID: 9211146
System.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS ist ein vollautomatischer Ätzer und Ascher, der einen mäßig komplexen Prozess bewältigen kann. Als reaktive Ionenätz- und Aschereinrichtung bietet TEL T-3055SS eine komplette Ätz- und Aschelösung. Neben dem Ätzen und Aschen kann das System auch als Abscheidemaschine für Dünnschichtprozesse eingesetzt werden. TOKYO ELECTRON T-3055SS ist für Produktions- und Prozessanwendungen konzipiert, die präzise und genaue Ergebnisse erfordern. Es hat einen hohen Durchsatz und schnelle Taktzeiten, mit einer Belastbarkeit von bis zu 25 Wafern pro Lauf. Das Gerät verwendet sowohl RF- und DC-gemischte Energiequellen zum Ätzen als auch eine Hochtemperaturglühstufe zum Aschen. Es enthält auch eine variable Massenstrom-Aktivierungsmaschine zur präzisen Steuerung von Prozessparametern. Mit fortschrittlichen Software- und Hardwarekomponenten bietet T-3055SS einen zuverlässigen Betrieb für reaktives Ionenätzen und -veraschen. Das computergesteuerte Werkzeug verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, komplett mit einem grafischen Display für eine schnelle Eingabe und eine einfache Bedienung. Es bietet auch umfangreiche Diagnosetools zur Fehlerbehebung und Feinabstimmung von Prozessen. TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS nutzt eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Benutzer zu schützen und Schäden an der Ausrüstung zu verhindern. Es verwendet Sicherheitsverriegelungen, um Personal und Ausrüstung zu schützen, und wurde entwickelt, um die Sicherheitsanforderungen der neuesten Vorschriften für den Betrieb von HF- und DC-Geräten zu erfüllen. Das Asset umfasst sowohl Online- als auch Offline-Diagnosefunktionen für die vollständige Prozesskontrolle. TEL T-3055SS bietet umfangreiche Prozesssteuerungsfunktionen, mit denen Benutzer alle Prozessparameter für verschiedene Gerätetypen steuern können. Es kommt mit flexiblen Planungsfunktionen, so dass Benutzer einfach mehrere Parameter für verschiedene Ätz- und Ashing-Aufgaben programmieren können. Es enthält auch ein automatisches Wafer-Transfermodell, mit dem Benutzer mehrere Wafer ohne zusätzliche Ausrüstung von einer Kammer zur anderen bewegen können. TOKYO ELECTRON T-3055SS ist eine zuverlässige, hochpräzise Ätz- und Aschermaschine. Dank seiner benutzerfreundlichen Schnittstelle und umfangreichen Prozesssteuerungsfunktionen ist es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Mit seinen vielfältigen Sicherheitsmerkmalen und der umfangreichen Diagnostik bietet T-3055SS zuverlässige und präzise Ergebnisse.
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