Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW #293587739 zu verkaufen

ID: 293587739
Weinlese: 2007
Etcher 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW ist ein halbautomatischer Waferätzer/Ascher, der von TEL Limited entwickelt wurde. Das Gerät ist so konzipiert, dass es ein Hochdurchsatz und wiederholbares Ätzen und Aschen aller Arten von elektronischen Komponenten auf bis zu vier Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm ermöglicht. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, wie Edelmetalle, Silizium, Quarz und andere High-K-Dielektrika. Zu den Merkmalen von TEL TAC-3WWZZWW gehören eine automatisch gesteuerte Temperatur, eine niedrige Gasverbrauchsrate und eine einzigartige optische Faserbeleuchtung, die die Gleichmäßigkeit von Ätz- und Ascheprozessen in der gesamten Kammer gewährleistet. TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWWs Ätz-/Ascherkammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat eine zylindrische Form mit einem bodenlosen Tiegel. Sie weist ferner einen Massenstromregler und ein Thermoelement zur Regelung der Temperatur in der Kammer auf. Darüber hinaus ist es mit zwei automatisierten Ventilen ausgestattet, eines zum Be- und Entladen von Wafern und eines zum Gaseinführen. Die Kammer verfügt außerdem über eine Druckregelung, die es dem Bediener ermöglicht, den Prozessdruck genau einzustellen. Darüber hinaus ist die Einheit so konzipiert, dass sie in jeder Orientierung arbeiten kann, sodass präzise Ätz- und Ascheprozesse mit minimalen Prozessvariationen durchgeführt werden können. TAC-3WWZZWW umfasst auch eine Sicherheitsverriegelungsmaschine zur Verhinderung von versehentlichem Gasaustritt. Das Werkzeug besteht aus einem Metallkasten, Druckschalter und Lecksucher. Es ist so konzipiert, dass das Asset im Falle eines Druckabfalls sofort abgeschaltet wird. Es enthält auch ein eingebautes Abgasmodell, um gefährliche Gase im Falle eines Lecks herauszufiltern. TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW verfügt über mehrere fortschrittliche Technologien, die effiziente und wiederholbare Ätz- und Ashed-Prozesse ermöglichen. Es beinhaltet Digital Microcontroller Interface (DMIF), eine fortschrittliche Sensortechnologie, die es dem Bediener ermöglicht, die Temperatur- und Prozessbedingungen innerhalb der Kammer genau zu überwachen. Das Gerät verfügt zudem über eine Reihe leistungsstarker Funktionen wie automatisierte Dichtungswaferhalter, Echtzeitkammer-Temperaturüberwachung, rezeptbasierte Programmierung und bis zu vier programmierbare Vorwärmetemperaturen. TEL TAC-3WWZZWW ist ein ideales Werkzeug zum Ätzen und Veraschen einer Vielzahl elektronischer Komponenten. Es wurde entwickelt, um wiederholbare und zuverlässige Prozesse mit einfacher Bedienung zur Verfügung zu stellen. Seine automatische Steuerung ermöglicht es dem Bediener, den Herstellungsprozess schnell und präzise durchzuführen, ohne dass eine intensive manuelle Eingabe erforderlich ist. Das System eignet sich auch perfekt für Halbleiterverarbeitungslabore, die einen hohen Durchsatz und eine maximale Genauigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen benötigen.
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