Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM
ID: 9290523
Wafergröße: 12"
Dry etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras SCCM (Super Chemical Control Machine) ist ein Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um Tiefätzen, Feinmustern und Profilkontrolle für verschiedene Metallisierungsanwendungen bereitzustellen. Es ist ein Halbleiterprozesswerkzeug, das entwickelt wurde, um eine überlegene Planarisierung des Substratniveaus mit minimaler Beschädigung des Substrats bereitzustellen. TEL Tactras SCCM hat ein kompaktes Design, das maximale Prozessfähigkeit und verbesserte Steuerungsfunktionen bietet. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und bietet einen verbesserten Durchsatz mit automatischer Verarbeitung und Überwachung. Der Ätzer/Ascher weist drei Stufen der automatischen Planarisierung auf, die eine Naßätzstufe, eine Pufferstufe und eine Substratplanarisierungsstufe umfassen. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM bietet auch eine „Double-Etch“ -Funktion zur Steuerung von Ätztiefen sowie Profiltypen mit seinem fortschrittlichen Ölstrahl. Tactras SCCM ist mit einem fortschrittlichen Steuerungssystem ausgestattet, das Funktionen wie automatisches Ätzen, Depletion und Sputtern von einem einzigen Steuermodul aus umfasst. Dieses Steuermodul gewährleistet den synchronen Betrieb des Ätzers/Aschers und kann zur Verbesserung der Genauigkeit und Konsistenz des Ätzprozesses verwendet werden. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras SCCM ist auch mit einem Touchscreen-Steuergerät für mehr Benutzerfreundlichkeit ausgestattet und kann an eine Reihe von Systemen zur Überwachung und Steuerung angeschlossen werden. Es bietet auch eine Fernüberwachungsfunktion, mit der das Gerät von einem entfernten Standort aus überwacht und gesteuert werden kann. TEL Tactras SCCM Ätzer/Ascher hat auch verschiedene Sputterfunktionen, einschließlich Dünnfilm, Chemikaliensputtern, Oxidsputtern und Rückwärtsionenextraktion. Der eingebaute Elektronenstrahlverdampfer ermöglicht eine schnelle, effiziente und gleichmäßige Dünnschichtabscheidung. Darüber hinaus ermöglichen der taktile Sensorex und der Manipulator eine präzise Lage- und Geschwindigkeitsregelung des Substrats. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM ist ein All-in-One-Ätzer/Ascher, ideal für die Produktion und Prozessoptimierung mit hoher Kapazität. Es bietet Präzisionsätz-/Sputter-/Depletion-Operationen sowie eine Vielzahl von Automatisierungsfunktionen. Das effiziente und benutzerfreundliche Design sorgt für eine verbesserte Produktivität mit hervorragenden Ergebnissen.
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