Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 #293634269 zu verkaufen

ID: 293634269
Wafergröße: 12"
Polysilicon etcher, 12" (2) AC Distribution boxes Loader module (3) Load ports Vaccum transfer module: Transfer module (2) Loadlock modules (4) Process module​s: (3) HF RF Power supplies (4) Gas boxes (3) RF Generators (3) TMP Controllers.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher zur Mustertransfer und Materialabtragung in verschiedenen Mikrostrukturen. Es ist ein effizientes Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung und die Produktion integrierter Schaltungen. Es verfügt über eine große Prozesskammer mit einer Arbeitsfläche von ca. 300 mm und ist in der Lage, eine hohe Ätzselektivität und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über den gesamten Prozessbereich ohne signifikante Verschlechterung der Fertigungsqualität zu liefern. TEL Tactras Vesta NV3 setzt branchenführende Standards für Präzisionsätzen und -veraschen dank seines Hochleistungs-Plasmaquellen- und -Gasversorgungssystems. Seine verbesserte Leistung wird durch ein elektrostatisches Einschlusssystem erreicht, das die Zusammensetzung und Ionisation von reaktiven Gasen steuert, um eine optimale Ätzrate zu ermöglichen und Partikel in Suspension zu halten. Es hat auch ein einzigartiges Quelldesign mit einer Reihe von Windungen zur Erhöhung der Ionisierungsleistung und zur Verbesserung der Ätzselektivität. Neben seiner Leistung unterscheidet sich TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 durch seine innovativen benutzerfreundlichen Funktionen von der Konkurrenz. Das ergonomische Bedienfeld ermöglicht eine einfache und intuitive Programmierung von Ätz- und Ascheprozessparametern. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die es Benutzern ermöglicht, den Prozessstatus direkt zu visualisieren, was eine einfachere Prozessoptimierung ermöglicht. Darüber hinaus bietet seine digitale Steuerung eine präzisere Steuerung und einen zuverlässigeren Prozessbetrieb. In Sachen Kosteneffizienz ist Tactras Vesta NV3 ein sehr günstiger Ätzer/Ascher. Es hat auch eine niedrige Betriebskosten dank seiner hohen Zuverlässigkeit und schnelle Wartung. Dies wird durch den geringen Stromverbrauch während des Betriebs und die effiziente Kommunikation mit anderen Systemen unterstützt, so dass Anwender schnell aktuelle Informationen über den Prozess abrufen können. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3 aufgrund seiner Kombination aus Leistung, Benutzerfreundlichkeit und geringen Kosten eine ausgezeichnete Wahl für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung und die Produktion integrierter Schaltungen. Mit seiner ausgezeichneten Radierung, Veraschung und Einheitlichkeit über den gesamten Arbeitsbereich ist es sicher, die anspruchsvollsten Bedürfnisse der Branche zu befriedigen.
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