Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9225714 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung für den Einsatz in verschiedenen fortgeschrittenen Prozessen. Seine ultrafeinen Trockenätzfunktionen bieten eine höchstauflösende Strukturierung und kleinste Funktionsgrößen bis zu 10nm, während die Aschefunktionen eine überlegene Ätzleistung und einen minimalen Gülleverbrauch bieten. TEL Tactras Vesta kann implementiert werden, um eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Standard-Si, SiN, SiO2 und SiON-Folien, sowie High-K-Dielektrika und fortschrittliche Materialsynthese. Das System verfügt über Dual-Gas-Einlasssteuerung für präzise Dosissteuerung und Prozessgleichförmigkeit. Es enthält auch eine erweiterte Sensoreinheit für genaue Echtzeit-Ätztiefensteuerung, um präzise Ergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Tactras Vesta-Ätzeinheit verwendet eine Kombination aus Elektronenzyklotronresonanz (ECR) und lateralem RF (LRF) -Plasma. Das ECR-Plasma wird zum Tiefätzen verwendet, während das LRF-Plasma zum Massenätzen verwendet wird. Tactras Vesta ist mit einer programmierbaren Kammerwand ausgestattet, um den Ätzprozess zu optimieren. Die Kammerwand kann für jedes in der Maschine bearbeitete Material eine optimale Reaktionsumgebung aufweisen. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta verfügt auch über Wasserstoff, Chlor und Sputtergase, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Oberflächen und Prozessen zu verarbeiten. Darüber hinaus wird der stationäre 500-Watt-HF-Generator des Werkzeugs verwendet, um bei höheren Prozesstemperaturen Trockenätzen durchzuführen. Dadurch kann TEL Tactras Vesta auch die Notwendigkeit eines Nassätzprozesses beseitigen. TOKYO ELECTRON Tactras Vesta ist ein hochintegriertes Asset mit fortschrittlicher Prozesssteuerung, hoher Auflösung und feiner Strukturierung und überlegener Prozessgleichförmigkeit. Darüber hinaus ermöglicht seine programmierbare Kammerwand volle Prozesssteuerung und Präzision. Damit ist Tactras Vesta eine ideale Lösung für die schnelle Prototypisierung fortschrittlicher Strukturen und Geräte.