Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 #9284628 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 ist eine fortschrittliche Ätzmaschine zum Ätzen von Mustern auf Halbleitersubstraten. Der Ätzer eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich hochpräziser Schaltungen für Airwrap™ Luftsparverfahren, eine innovative Technologie, die zur Verbesserung der Ätzqualität und -ausbeute beiträgt. TEL Tactras Vigus-0 ist ein High-End-Ätzer mit 9-Zellen-Design, mit dem mehrere Ätzprozesse gleichzeitig ausgeführt werden können. Die Maschine ist mit fortschrittlicher Hardware ausgestattet und beinhaltet den Einsatz von hochreinem CoF2 Ätzgas. Sie weist eine Lastschloßkammer, eine Wafer-Expansionskammer und eine chemische Aufdampfquelle auf. Die Ätzkammer kann bis zu 30 Wafer gleichzeitig aufnehmen. Der Ätzer verfügt auch über zwei Plasmaquellen und drei Wafer-Heizstufen, die Unterstützung für eine breite Palette von Ätztechniken ermöglichen. ELEKTRON VON TOKIO Tactras Vigus-0 wird mit einer Hopräzisionsstufenkontrolle und Hochleistungsfertigungsfähigkeit ausgestattet, die die Ätzenzykluszeit verbessern kann. Es ist auch mit einem Echtzeit-Überwachungsgerät ausgestattet, um frühzeitige Anzeichen von Ätzvariation zu erkennen. Das System ermöglicht präzise Anpassungen bei Ätzprozessen, wodurch die Ätzzeit reduziert und die Ätzgenauigkeit insgesamt verbessert werden kann. Der Ätzer verfügt über eine fortschrittliche Gassteuereinheit, die einen stetigen Fluss von Ätzgas gewährleistet und gleichzeitig das Risiko minimiert, dass Verunreinigungen in den Prozess eintreten. Es ist auch mit einer Vielzahl von Plasmaquellen und Ätzgasen ausgestattet, die die Optimierung von Ätzprofil, Wiederholbarkeit und Selektivität ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Reihe von Sicherheits- und Wartungsfunktionen, einschließlich hochpräziser Lecksuche, Sicherheitsverriegelung und Leistungsüberwachungsmaschine, die den Ätzer und seine Benutzer schützen. Tactras Vigus-0 ist ein fortschrittlicher Ätzer für eine Vielzahl komplexer Ätzprozesse in der Halbleiterindustrie. Der Ätzer wurde entwickelt, um überlegene Ätzqualität, Präzision und Wiederholbarkeit zu liefern und gleichzeitig strenge Sicherheits- und Zuverlässigkeitsstandards einzuhalten. Der Ätzer ist hochgradig konfigurierbar und skalierbar und kann eine breite Palette von Ätztechniken mit einer hohen Erfolgsrate aufnehmen.