Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649539 zu verkaufen

TELEFON / ELEKTRON VON TOKIO Tactras Vigus LK3 + ist ein fortgeschrittener für eine breite Reihe von Halbleiteroblatenverarbeitungsanwendungen entworfener etcher/asher. Dieser ausgeklügelte Ätzer verfügt über eine multidirektionale rezirkulierende beheizte Bearbeitungskammer, mit der mehrere Wafer in einem einzigen Verfahrensschritt bearbeitet werden können. Im Vergleich zu konkurrierenden Ätzsystemen bietet derTactras Vigus LK3 + eine um bis zu 30% verbesserte Ätzrate und Dimensionssteuerung. TEL Tactras Vigus LK3 + ist mit einer High-End-Automatisierungsausrüstung konstruiert, die eine verbesserte Prozesszeitgenauigkeit und Reproduzierbarkeit ermöglicht. Das Werkzeug verfügt auch über ein robustes Auto-Reinigungssystem, so dass Bediener die Gesamtmenge der manuellen Reinigung zu reduzieren und die Zuverlässigkeit der Einheit zu verbessern. Diese Maschine ist in der Lage, automatische Sensorkalibrierung und eine Reihe von Prozessüberwachung, so dass Benutzer mehr Prozesssteuerung. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) von TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 + vereinfacht den Ätzprozess durch leicht verständliche grafische Anzeigen und Prozessparameter. Diese Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, problemlos Prozessbedingungen, Ätzrezepte und Fehlerbehebung in Echtzeit festzulegen. Darüber hinaus können Benutzer mit ihrem Datenerfassungsmodus auf relevante Daten zugreifen und diese speichern, was ein besseres Prozessmanagement ermöglicht. Tactras Vigus LK3 + bietet Spektrum-Flexibilität, so dass Benutzer die Ätzrate und Prozessparameter für verschiedene Substratmaterialien anpassen können. Durch die multidirektionale rezirkulierende beheizte Bearbeitungskammer werden Wafer während des gesamten Ätzprozesses gleichem Druck und gleicher Temperatur ausgesetzt. Dies führt zu einer verbesserten Kantengleichförmigkeit sowie verringerten Spannungswerten, insbesondere beim Ätzen von Low-K-Substraten. Zudem sorgt die geringe Partikelerzeugung des Werkzeugs für außergewöhnliche Waferqualität. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 + ist eine ideale Wahl für diejenigen, die ein zuverlässiges und konsistentes Ätzgut suchen. Diese robuste Maschine umfasst eine Reihe innovativer Funktionen, die von verbesserter Ätzrate und Dimensionssteuerung, anspruchsvoller Automatisierung, Prozessüberwachungsfunktionen, Spektrumflexibilität und geringer Partikelerzeugung reichen. Ob Sie ein kleines IC-Designunternehmen oder ein groß angelegter Hersteller, TELEFON sind, ist Tactras Vigus LK3 + die vollkommene Lösung für Ihre Halbleiteroblatenverarbeitungsbedürfnisse.