Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9312750 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 ist ein Ätzer/Ascher, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es handelt sich um eine Einkammer-Ausrüstung, die für Chargenverarbeitungsanwendungen in der Waferfertigung konzipiert wurde. TEL Tactras Vigus LK3 ist ein vollautomatischer Ätzer, der bis zu 150 Wafer in einem Lauf verarbeiten kann. Es ist mit zwei unabhängigen Quellen für verdünnte Flusssäure (DHF) ausgestattet, um eine genaue Kontrolle über die Ätztiefe der gewünschten Waferoberflächen zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 hat ein einzigartiges Waferhalter-Design in seine Ätzkammer integriert, um maximale Wafer-Ladestabilität und einheitliche Bearbeitungszeit über alle Wafer zu gewährleisten. Es verwendet ein eigenes Fördersystem und eine Verarbeitungskammer, um die Ätzgenauigkeit und Zuverlässigkeit zu verbessern. Das Gerät ist in der Lage, hochgenaue Steuerung mit einem fortschrittlichen Prozesscontroller und hochentwickelte Software. Das LK3 ist mit verschiedenen Arten von Wafern wie Silizium, Aluminium, Kupfer und anderen Materialien kompatibel. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, mehrere Ätzrezepte zu unterstützen und ermöglicht so schnelle Umstellungen und Prozessoptimierungen. Tactras Vigus LK3 ist mit einer robusten mechanischen Konstruktion konzipiert, um seine Langlebigkeit und Zuverlässigkeit durch langjährigen Einsatz zu gewährleisten. Das langlebige Gehäuse ist korrosionsbeständig und wurde entwickelt, um der Exposition gegenüber Lösungsmitteln und chemischen Reinigungsmitteln standzuhalten. Das Tool ist außerdem mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Touchscreen-Oberfläche ausgestattet, mit der der Bediener Ätzparameter schnell und einfach anzeigen und anpassen kann. Darüber hinaus bietet die erweiterte Benutzeroberfläche robuste Service- und Wartungsfunktionen mit Ferndiagnose und Echtzeit-Datenerfassungsfunktionen. Diese Anlage wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert und bietet mehrere Schutzstufen für die Bedienersicherheit. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 Ätzer wurde entwickelt, um alle internationalen Sicherheitsstandards zu erfüllen, einschließlich NFPA 79 und CENELEC EN 60079-11. Es bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, wie ein separates Interlock-Modell, Not-Aus-Taste, und Geräuschbegrenzer. TEL Tactras Vigus LK3 kann von Technikern verwendet werden, um verschiedene Arten von Wafern genau und genau zu ätzen. Es ist ideal für den Einsatz in vielen Halbleiteranwendungen.