Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649558 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 ist ein Etcher/Ascher zur Verarbeitung von Flüssigkeits- und Vakuumätz- und Ascheanwendungen. Es ist eine Hochleistungs-Ätz- und Ascheausrüstung, die für Prozesswiederholbarkeit, hervorragende Bildgebungsleistung und hohen Durchsatz entwickelt wurde. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich mehrschichtiger Halbleiterverarbeitung. TEL Tactras Vigus RK4 verwendet ein Drei-Kammer-Design und ist in der Lage, mehrere Ätz-/Ascheoperationen gleichzeitig. Die Hauptätzkammer ist eine große und isolierte geschlossene Umgebung für minimale Kontamination. Die Kammerkapazität beträgt maximal 1080 Liter und hat einen Druckbereich zwischen 75 und 150 Torr. Eine unabhängige Trockenprozesskammer ist auch für wasserfreie Ätzprozesse wie CF4 Ätz- und SFE-Ätzprozesse enthalten. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 umfasst mehrere Quellen für die Prozessgase, darunter Fluorwasserstoff (HF), Chlortrifluorid (CF4) und SF6, um hohe Ätzselektivität und geringere Rückstände zu erzielen. Um die Kompatibilität mit fortschrittlichen Geräten sicherzustellen, ist ein elektrostatisches Spannfutter (ESC) vom Typ Kaltwand enthalten. Das Stromnetz ist unabhängig und verfügt über einen breiten Leistungsbereich von 0.05kW bis 50kW. Es hat auch eine hohe Zuverlässigkeit, mit einer HF-Antenne-Power-Chain-Einheit und einer eingebetteten Prozessüberwachungsmaschine. Tactras Vigus RK4 hat mehrere verschiedene Prozesse, die ausgewählt werden können, einschließlich geätztes tiefes reaktives Ätzen (DRIE), isotropes Ätzen, anisotropes Ätzen, Aschen und mehr. Der Etcher/Asher verfügt auch über eine vielseitige Temperaturregelung mit einem maximalen Temperaturbereich von 500 ° C, die dem Bediener die Möglichkeit gibt, jeden einzelnen Prozess anzupassen. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 unterstützt mehrere Lade- und Entladeaustauschmechanismen wie einen Shuttle-Roboter oder ein Kassetten-zu-Kassetten-Werkzeug. Es ist auch mit einem Nassreinigungsmittel für eine glatte Oberfläche ausgestattet und hat ein IPPC-Schutzniveau von 5. Das gesamte Modell wird mit schnellem Betrieb hergestellt, was einen hervorragenden chemisch-mechanischen Polierprozess und eine schnelle Zykluszeit für verschiedene Ätz-/Ascherezepte ermöglicht.