Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818565 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus ist ein Ätzer oder „Ascher“, der für eine Reihe von Verfahren verwendet wird, einschließlich Abscheidung, Sputter-Coat, CVD, Abheben, Planarisieren und per Strukturierung. Dieses Werkzeug verwendet eine ionenimplantierte Technik, um bis zu 55 nm dicke Materialschichten mit hoher Präzision abzuscheiden. Es bietet eine Gleichmäßigkeit der Ätztopographie auf dem Substrat und kann auch zur Durchführung einer chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet werden. Der Ätzvorgang erfolgt durch Ionenimplantation und Sputterbeschichtung, während der CVD-Prozess durch Einbringen eines Gasphasenbestandteils auf das Substrat erfolgt. TEL Tactras Vigus Ätzer ist mit einer Reihe fortschrittlicher Komponenten ausgestattet, einschließlich einer Kathode, einem Substrathalter, einer HF-Mikrowelle, einem Substratkühlsystem und einem Gaseinspritzmechanismus. Die Kathode erzeugt eine elektrische Entladung, die zum Ätzen von Silizium verwendet wird, während der Substrathalter Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen kann. Mit der Hochleistungs-HF-Mikrowelle, die einen Frequenzbereich von 1,8 bis 38,5 GHz aufweist, wird ein Hochtemperatur- und Starkspannungsplasma für den Ätzprozess erzeugt. Das Substratkühlsystem hält die Temperaturen der Substrate im Bereich von 5-40 Grad Celsius und sorgt so dafür, dass die Abscheide- und Ätzprozesse sicher durchgeführt werden. Schließlich dient der Gaseinspritzmechanismus zur Steuerung der Ätzgeschwindigkeit, des Drucks und der chemischen Zusammensetzung sowie des Gasdurchsatzes. Einer der Hauptvorteile des TOKYO ELECTRON Tactras Vigus Ätzers ist seine Fähigkeit, selbst auf porösen Oberflächen wie Graphit und Spinodallegierungen bis auf 55nm genau zu ätzen. Darüber hinaus kann das Werkzeug einfach in bestehende Geräte integriert und unter Reinraum- oder Freiluftbedingungen betrieben werden. Außerdem, mit seiner Hochleistungsrotation und Hochleistungs-, Unterdruckätzenausrüstung, kann der Ätzenprozess schnell und genau vollendet werden. Als Ergebnis ist Tactras Vigus Ätzer für eine breite Palette von Anwendungen geeignet, einschließlich Produktion, Forschung und Entwicklung.