Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252286 zu verkaufen

ID: 9252286
Dielectric etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus ist ein Ätzer/Ascher, der überlegene Ätzleistung und Durchsatz im Halbleiterherstellungsprozess bietet. TEL Tactras Vigus wurde mit einer einzigartigen elektrochemischen Zweikammer-Ätzausrüstung (ECE) entwickelt, die präzises und konsistentes Waferätzen mit schneller Waferbearbeitungszeit bietet. Dieser vielseitige Ätzer eignet sich ideal für die Verarbeitung verschiedener und komplexer Verfahren wie SiC, SiGe, III/V-Verbindungen und Cu. Dieser Ätzer ist mit einem einzigartigen Zweikammer-System entworfen. Die ECE-Einheit ermöglicht unterschiedliche Ätzrezepte und Kammertemperaturen, was für optimale Ätzergebnisse sorgt. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine durch ihre automatisierten Prozesse auch Prozessoptimierung und Prozesssteuerung. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus liefert sehr präzise und konsistente Ätzergebnisse. Dieser Ätzer ist in der Lage, bis zu 25 Millionen (635 Mikrometer) pro Stunde zu ätzen, was einer der schnellsten Preise ist, die heute auf dem Markt verfügbar sind. Darüber hinaus bietet das ECE-Tool eine ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit im gesamten Wafer mit selbst den anspruchsvollsten Ätzprofilen. Dieser Ätzer ist benutzerfreundlich, sehr zuverlässig und bietet eine breite Palette von Funktionen wie integrierte Sicherheit und Umweltkontrolle. Weitere Merkmale sind Echtzeit-Überwachungs- und Analysewerkzeuge sowie eine integrierte Autoklavierfunktion zur Reinigung und Dekontamination. Die Ätzkammer bietet zudem einen unabhängigen Be- und Entlademechanismus, der höchste Sicherheit und Zuverlässigkeit für alle Prozesse gewährleistet. Die Steuerung von Tactras Vigus ist intuitiv gestaltet und ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung und Bedienung. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus ist eine ausgezeichnete Wahl für jede Halbleiteranwendung, die einen präzisen und zuverlässigen Ätzprozess benötigt. Sein innovatives Doppelkammermodell bietet höchste Effizienz und Flexibilität, die auf eine Vielzahl von Ätzanforderungen zugeschnitten sind. Dieser Ätzer bietet eine hohe Durchsatzrate und eine zuverlässige Prozesssteuerung, mit der Sie Ihre Produktionsziele erreichen können.
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