Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293591387 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras
ID: 293591387
Weinlese: 2010
Etcher EFEM TM Power racks AC Racks (3) Chambers Accessories 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschentechnologie, die in der Halbleiterindustrie für eine Vielzahl von Prozessen eingesetzt wird. Als Ätzer/Ascher ist TEL Tactras-Ausrüstung extrem effizient, präzise und zuverlässig. TOKYO ELECTRON Tactras System arbeitet mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), um freie Elektronen zu erzeugen, die dann in eine Dünnschicht beschleunigt werden. Die ICP-Quelle und die optische Fokussierlinse sind so ausgelegt, dass sie eine gleichmäßige Plasmastrahldichte über einen weiten Bereich bereitstellen und einen hohen Grad an Kontrolle über den Ätzprozess ermöglichen. Tactras hat eine breite Palette von Betriebsparametern und wählbaren Parametern, wie Druck, Leistung und Temperatur. Dies ermöglicht die Feinabstimmung von Prozessgrößen und eine optimale Ätzrate und Prozessausbeute. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Tactras über eine interaktive programmierbare Touchscreen-Schnittstelle, die eine einfache Bedienung und Automatisierung der Ätz-/Aschereinheit ermöglicht. TEL Tactras Maschine ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie einem Verriegelungswerkzeug und einem HF-Schutzschild ausgestattet. Diese Funktionen helfen, Personal und Ausrüstung vor den potenziell schädlichen Auswirkungen der ICP-Strahlung zu schützen. Das Asset ist auch vollständig anpassbar und konfigurierbar, um den Durchsatz zu maximieren, Kosten zu minimieren und die Prozessgleichförmigkeit und Reproduzierbarkeit zu verbessern. TOKYO ELECTRON Tactras Ätzer/Ascher eignet sich für fortgeschrittene Formen der Mikrobearbeitung, Abscheidung, Photomaske und Ätzprozesse. Darüber hinaus kann Tactras-Modell in ultrafeinen, Niedertemperatur-, Niederdruck-Ätzprozessen sowie Hochtemperatur-Hochdruckprozessen eingesetzt werden. Diese Fähigkeit bietet eine breite Palette von Anwendungen in der Präzisions-Halbleiterindustrie. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Etcher/Asher eine hochentwickelte Ätzausrüstung, die effiziente, zuverlässige und genaue Ätz- und Ascheprozesse bietet. Mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einstellbaren Parametern und einer modernen Touchscreen-Schnittstelle eignet sich das TEL Tactras-System hervorragend für die Präzisions-Halbleiterindustrie.
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