Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9286335 zu verkaufen
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ID: 9286335
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Etcher
EFEM
TM
Power racks
AC Racks
(3) Chambers
Accessories
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die eine zuverlässige, stabile und hochpräzise Verarbeitung verschiedener Materialien bietet. Das System ist vollautomatisiert mit intelligenter Rüst- und Prozessüberwachung, so dass jeder im Labor von seiner genauen Leistung profitieren kann. TEL Tactras ist mit fortschrittlicher Robotik zu CAE-Abfällen, Partikeln und effizienten Beschichtungsprozessen konzipiert. Es ist mit einer automatischen Fokuseinstellung für hochgenaue Oberflächenschichtprofile ausgestattet, die auch in schwer zugänglichen Bereichen eine überlegene Ätzqualität gewährleistet. TOKYO ELECTRON Tactras verfügt auch über eine einzigartige zweistufige Vakuumeinheit, die eine schnelle und effiziente Entlüftung von Substraten ermöglicht, was zu verringerten Verarbeitungszeiten führt. Die Benutzererfahrung wird weiter mit einer für Lesen leichten FLÜSSIGKRISTALLANZEIGEN-Anzeige erhöht, die in einer Prozession gehende Echtzeitzustandsinformation, einschließlich der restlichen Zeit bis Vollziehung und eine ausführliche Liste von Rezepten bietet. Die Sicherheit wird durch die Aufnahme von Passcode-Schlössern und einem Not-Aus-Schalter erhöht. Die Maschine ist ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Laboreinheiten, einschließlich Werkstofflabors und universitären Forschungsabteilungen. Tactras ist in der Lage, Kupfer, Gold und andere Edelmetalle und Legierungen zu verarbeiten. Das Ätzen wird sowohl mit Sputter- als auch mit thermischen Verdampfungstechniken durchgeführt, was eine hohe Gleichmäßigkeit und Genauigkeit ermöglicht. Das zweistufige Vakuumwerkzeug ermöglicht auch eine überlegene Verarbeitung schwer ätzbarer Materialien wie Silizium. Mit einer breiten Palette von Kammer Fähigkeiten, TEL/TOKYO ELECTRON Tactras können für verschiedene Anwendungen angepasst werden. Das eingebaute Gasmodell des Asset bedeutet, dass es in der Lage ist, mit Photomasken-Entwicklern Muster auf Substrate zu ätzen (z.B. MEMS-Gerätemuster). Auch AR/VR-Ätzen sind möglich, was eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Auflösung über eine Reihe von Materialien bei minimaler Schnittzeit ermöglicht. TEL Tactras ist wartungsarm und verfügt über eine Reihe von Selbstdiagnosefunktionen, um Fehler schnell und genau zu erkennen. Der modulare Aufbau ermöglicht es dem Anwender, die Ausstattung auf Wunsch einfach zu erweitern. TOKYO ELECTRON Tactras kommt mit einer Auswahl von Software-Tools für erfahrene Benutzer und diejenigen ohne Vorkenntnisse. Als solches bietet Tactras eine leistungsstarke und benutzerfreundliche Lösung für eine Vielzahl von Ätz- und Beschichtungsanforderungen.
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