Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9304349 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der für die Herstellung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist eine kostengünstige Lösung, die sowohl Ätz- als auch Strippprozesse durchführen kann. Diese Maschine verfügt über eine proprietäre Prozesssteuerungsausrüstung mit fortschrittlichen Musteroptimierungsalgorithmen und mehreren messtechnischen Funktionen. Die Maschine verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Direktantriebsmotor, der eine schnelle Positioniergenauigkeit ermöglicht. Mit seinem Hochleistungsnanosekunde-Servosystem TELEFON ist Tactras im Stande, Eigenschaften unten zu 80 nm zu ätzen, das ultrafeine Mustern der Oberfläche einer Oblate ermöglichend. TOKYO ELECTRON Tactras erreicht präzises Ätzen und Strippen durch Steuerung der Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Fluss und Leistung. Zur Gewährleistung der Prozessstabilität enthält es einen Gasflussmonitor, eine Mehrzonen-Wafer-Temperaturregeleinheit und eine mehrphasige Prozessplasmasteuerung zur präzisen Steuerung der ionisierten Gasverteilung. Tactras verfügt außerdem über eine Multimodul-Fähigkeit, mit der der Bediener Konfigurationen ändern kann, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen. Es unterstützt eine offene Architektur zur Unterstützung verschiedener Chemien für Forschung und Entwicklung. Es unterstützt auch die Integration von Software, Detektoren und Geräten von Drittanbietern. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras verfügt über eine universelle Stromversorgung, ein Dualkammer-Design und eine fortschrittliche Kühlmaschine, die eine stabile Umgebung für genaue und wiederholbare Prozessergebnisse bietet. Sein fünfseitiges Kammerdesign bietet eine größere Flexibilität bei der Positionierung von Wafern, so dass Sie Proben aus mehreren Richtungen und Winkeln bearbeiten können. TEL Tactras enthält auch eine intuitive Touchscreen-Bedienoberfläche, die eine schnelle und einfache Prozesseinrichtung ermöglicht. Die taktile Navigation ermöglicht es dem Bediener, die Parameter des Ätzers einfach zu steuern und liefert detaillierte visuelle Rückmeldungen des Prozesses. Schließlich ist TOKYO ELECTRON Tactras für lange Lebensdauer und konstante Leistung ausgelegt. Es verfügt über ein effizientes Wärmeableitungswerkzeug, das häufige Wartungsarbeiten überflüssig macht. Es unterstützt auch eine große Anzahl von Wafergrößen und verfügt über eine integrierte Kalibrierung Asset für eine präzise Prozesssteuerung.