Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9395908 zu verkaufen
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ID: 9395908
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Etcher, 12"
Type: TAC-3VVZWRG
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras, eine hochauflösende Ätz-/Aschemaschine, ist für den Einsatz in verschiedenen Branchen konzipiert, darunter in den Bereichen Halbleiter, Luft- und Raumfahrt, Automobil, Unterhaltungselektronik und Medizin. TEL Tactras verfügt über eine sehr vielseitige Fähigkeit, verschiedene Dünnschichtdicken aus verschiedenen Materialien von 4nm bis 5µm zu ätzen. Dieses präzise Ätzsystem ist mit einer ultrahochauflösenden, einstellbaren Ätzratensteuerung und wiederholbaren Tiefätzfunktionen ausgestattet. TOKYO ELECTRON Tactras Einheit besteht aus mehreren Komponenten, einschließlich der Haupteinheit, der Ätzschale und der Stromversorgung. Die Haupteinheit verfügt über ein offenes Kammerdesign für einfachen Zugang und ist mit einem sechsachsigen Roboterarm und einem motorisierten Jig Lifter für präzise Navigation und Steuerung ausgestattet. Die Ätzschale bietet eine lange Lebensdauer und robuste Zuverlässigkeit beim Ätzen bei hohen Geschwindigkeiten. Der motorisierte Jig Lifter ermöglicht eine einfache Einstellung und ständige Überwachung des Seitenwandätzens während des Ätzvorgangs. Tactras wird mit hoch fortgeschritten schritthaltend entworfen, prophetisch ätzen Ratenkontrollmaschine. Dieses Tool verwendet erweiterte steuerbare Parameter, um eine konsistente Ätzrate während des Verarbeitungsprozesses genau zu erhalten. Die Echtzeit-Steuerungsfunktionen von TEL/TOKYO ELECTRON Tactras ermöglichen es Benutzern, Ätzbedingungen zu optimieren und gleichzeitig das Risiko von Unebenheiten und Ätzschäden zu reduzieren. Die leistungsstarke Niedertemperatur-Plasmaquelle von TEL Tactras ist in der Lage, Ionenenergie von 10 bis 20 eV mit einem einstellbaren bis zu 30 bis 40 eV zu erzeugen. Diese Niedertemperatur-Plasmaquelle ist in der Lage, eine hohe Abscheiderate und reduzierte Prozesszeit bereitzustellen, was zu einem erhöhten Probendurchsatz führt. TOKYO ELECTRON Tactras nutzt auch eine fortschrittliche Gaslieferung und Steuerung für genaue und erfolgreiche Ätzergebnisse. Tactras bietet Benutzern mehrere optionale Funktionen, wie ein Gasrückgewinnungsmodell und einen Temperatur/Druckzonen-Monitor. Der Druck/Temperatur-Zonen-Monitor ermöglicht es Benutzern, die Temperatur- und Druckmesswerte von mehreren Punkten innerhalb der Ätzkammer zu überprüfen. Die Gasrückgewinnungsanlage trägt zur Verringerung der Gasverschwendung und damit zur Verbesserung der Prozesseffizienz bei. Darüber hinaus bietet das TEL/TOKYO ELECTRON Tactras-System umfangreiche Diagnosetools, mit denen Anwender Ätzparameter vor dem Bearbeitungszyklus zur Prozessoptimierung voreinstellen können. Mit diesen fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, ist TEL Tactras eine vielseitige, leistungsstarke und zuverlässige Ätzeinheit für F&E und industrielle Umgebungen. Seine fortschrittliche Steuerungsmaschine, Niedertemperatur-Plasmaquelle und optionale Funktionen machen TOKYO ELECTRON Tactras zu einer idealen Lösung für Dünnschichtätzen und Tiefätzen. Dieses hochpräzise Ätzwerkzeug liefert sicher zuverlässige Ergebnisse für jeden Ätzbedarf.
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