Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #293592867 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC ist ein hochpräziser und hochzuverlässiger Ätzer/Ascher mit vielen nützlichen Funktionen. Es handelt sich um eine mittelpräzise Ausrüstung mit mittlerer Tragfähigkeit. Das System besteht aus Lastschloßkammer, Plasmaquelle, Substratheizelement, Ätzkammer, Rückseitenkühleinheit und Abgaseinheit. Die Lastschloßkammer ist mit einem Lastanschluß und Absperrventilen zum Ein-/Ausladen von Substraten ausgestattet. Die Plasmaquelle ist eine induktiv gekoppelte Hochfrequenzquelle (RF) zur Erzeugung eines hochdichten Plasmas in der Ätzkammer. Mit dem Substratheizelement kann die Temperatur des Substrats in der Ätzkammer genau gesteuert werden. Die Ätzkammer ist für die Aufrechterhaltung von Prozesstemperaturen von bis zu 500 ° C ausgelegt und eignet sich daher für eine Vielzahl von Ätzprozessen. Die Ätzkammer ist mit einer perforierten oberen und unteren Platte versehen, so daß die Prozessgase gleichmäßig in der Kammer verteilt werden können. Die Kammer verfügt außerdem über eine integrierte Kühleinheit, um eine gleichmäßige Temperatur über das Substrat zu gewährleisten. Die rückseitige Kühleinheit dient zur Kühlung des Substrats bei Ätzprozessen. Die Kühlwirkung der Einheit ist je nach Substratgröße, Ätzprozess und Prozessbedingungen einstellbar. Die Abgasanlage ist so ausgelegt, dass die Prozesskammer sauber bleibt und das Austreten von Prozessgasen in die Umwelt verhindert wird. Zusätzlich zu den obigen Merkmalen ist TEL TE 480 HGC mit zwei Schnittstellen ausgestattet; Industry 4.0 und Extended Service Control (ESC). Die Industrie 4.0-Schnittstelle sorgt für eine sichere Kommunikation zwischen Gerät und Bediener und trägt dazu bei, dass der Ätzprozess ordnungsgemäß funktioniert. Das Extended Service Control (ESC) Modul ermöglicht Fernwartung, Maschinendiagnose und Upgrade-Funktionen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE 480 HGC eine ausgezeichnete Wahl für mittelpräzise Ätz- und Ascheanwendungen. Die hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Werkzeugs, kombiniert mit fortschrittlichen und einfach zu bedienenden Steuerschnittstellen, machen es zu einer idealen Auswahl für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.