Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9098935 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 ist ein Etch/Ascher, der Hochleistungssäure und Plasmaätzen von Oberflächen bietet. Dieser Ätzer kann sowohl einseitige als auch doppelseitige Substrate im gleichen Verfahren verarbeiten. Die Kammer ist mit Polytetrafluorethylen (PTFE) beschichtet, was ein Verkleben von Partikeln an den zu ätzenden Teilen verhindert. Der Ätzer ist auch mit automatisierten eingebauten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich der Möglichkeit, den Prozess herunterzufahren, wenn er ein überhitzendes Ätzmittel erkennt. Der Ätzer verfügt über eine automatische Wafer Handhabung Ausrüstung, die die Kammer überwacht und hilft, genaues Be- und Entladen von Wafern zu gewährleisten. Es hat auch ein ionisiertes Gas (IG) Ätzsystem, das hochdichtes ionisiertes Gas (IG) verwendet, um Substrate schnell zu ätzen, ohne Grate zu hinterlassen. Die IG-Ätzmethode eignet sich ideal zum Ätzen präziser und komplizierter Muster auf Geräten. Die IG-Ätzeinheit erhöht auch die Ätzgeschwindigkeit und reduziert die Zeit, die zum Ätzen jedes Geräts benötigt wird. TEL TE 480 Ätzer verfügt über eine große Kammer (4,2 "X 4,5" X 10 ") mit einer Kapazität von 60 Wafern in 300mm Durchmesser. Es verfügt auch über einen Hochleistungs-HF-Generator mit einem Frequenzbereich von 100 - 600 kHz und eine Mehrfrequenz-Leistungssteuerungsmaschine, die eine effiziente Leistungsabgabe an das Substrat beim Ätzen ermöglicht. Der Ätzer ist zudem mit einem isolierten HF-Elektrowerkzeug und einer maximalen Ätzleistung von 4 kW ausgestattet. Das rechnergesteuerte Gut kann so programmiert werden, dass mehrere Wafer gleichzeitig geätzt werden, wodurch die Ätzgeschwindigkeit weiter erhöht wird. Der Ätzer verfügt über verschiedene Systeme zur Überwachung des Prozesses, einschließlich eines Echtzeit-Modelldruckalarms, der den Benutzer warnt, wenn der Druck den eingestellten Wert überschreitet, und eines Gerätekammer-Leckagealarms, der anormale Gasaustritte erkennt. Sie weist ferner eine Kammertemperaturregelung auf, die die Kammertemperatur im eingestellten Bereich konstant hält. Der Ätzer ist mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche einfach zu bedienen und zu warten. Neben den automatischen Sicherheitsmerkmalen verfügt der Ätzer auch über Rückverfolgbarkeitskontrollverfahren, um ein qualitativ hochwertiges Ätzen zu gewährleisten. Diese Einheit zeichnet den Verlauf der Waferverarbeitung auf, z. B. das verwendete Ätzrezept und die Anzahl der geätzten Proben. Diese Maschine hilft auch, Fehlerereignisse durch Material- oder Geräteausfälle zu reduzieren und ermöglicht eine Echtzeit-Überwachung und Wiederverarbeitung von Problemsubstraten. Insgesamt ist der TOKYO ELECTRON TE 480 Ätzer ein zuverlässiger, leistungsstarker und benutzerfreundlicher Ätzer, der sich ideal zum Ätzen komplexer Muster auf verschiedenen Substraten eignet. Seine breite Palette an Sicherheitsfunktionen, Rückverfolgbarkeitskontrollverfahren und automatisiertes Wafer-Handling-Tool ermöglichen es dem Benutzer, mit Genauigkeit und Geschwindigkeit zu ätzen und gleichzeitig minimale Ressourcen zu nutzen.