Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die beste Leistung und Produktivität bietet. Dieses halbautomatische System ist für eine kostengünstige und zuverlässige Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten konzipiert, einschließlich Metallen, Silizium-on-Isolator (SOI) Substraten und anderen Materialien. Durch die Verwendung leistungsstarker SCS (Substrate Conditioning Unit) -Technologie bietet seine Bewegungssteuerungsmaschine ein überlegenes Substratmanagement und reduziert die Zeit für die Oberflächenvorbereitung vor dem Ätzen erheblich. Diese High-End-Ätzplattform kann auch zur Verarbeitung kleinerer Substrate verwendet werden. TEL TE5000 wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse für komplexe, feinteilige Merkmale auf verschiedenen Substraten zu erzielen. Es verfügt über eine mehrachsige Hochgeschwindigkeits- X-, Y- und Z-Abtaststufe, die eine schnellere und genauere Substratbewegung ermöglicht. Zum Werkzeug gehört auch ein hochpräzises Laserinterferometer, das Wärmeausdehnung und andere Störungen effektiv kompensiert. Die geschlossene Rückkopplung gewährleistet eine hohe Ätzkonsistenz über große Substratgrößen und ermöglicht eine überlegene Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit des Ätzprozesses. Zur Anlage gehört auch eine integrierte fortgeschrittene atmosphärische Plasmaquelle, die Plasmabilanz, Druck und Temperatur des Ätzprozesses optimiert und steuert. Das Modell verfügt über eine effiziente Resistentfernungsausrüstung, die einen verbesserten Weichbackprozess für eine zuverlässige, gleichmäßige Resistentfernung bietet. Die Ätzgeschwindigkeit von TOKYO ELECTRON TE-5000 wird durch die fortschrittliche RF-ETP (RF Enhanced-Throughput Process) -Technologie weiter erhöht. Dieses innovative Verfahren reduziert den Zeitaufwand für das Ätzen und erhöht gleichzeitig die Ätzgenauigkeit. Der effiziente Betrieb und die einfache Wartung von TOKYO ELECTRON TE5000 es für die manuelle und automatisierte Systemintegration in rauen Produktionsumgebungen geeignet machen. Diese kostengünstige und leistungsstarke Ätzeinheit bietet überlegene Kosteneinsparungen und beispiellose Leistung. Aufgrund seiner überlegenen Ätzfähigkeit wird TEL TE 5000 für die technisch anspruchsvollsten Anwendungen von heute empfohlen.