Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293820984 zu verkaufen
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ID: 293820984
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Etcher, 6"
Main frame
Control rack
General rack
TP Controller
TMP
1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ist ein von TEL entwickelter hochpräziser Waferätzer. Dieser Ätzer eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiterverarbeitung, MEMS, Display-Verarbeitung und Photonik. TEL TE5000 verfügt über eine fortschrittliche Plasmaätztechnologie in Kombination mit fortschrittlicher fotounterstützter Ätzung. Dieser Ätzer bietet eine extrem präzise Ätzsteuerung, ermöglicht ein hohes Seitenverhältnis und bietet hervorragende Gleichmäßigkeit und Durchsatz für verschiedene Ätzprozesse. Der Ätzer verfügt über ein ausgeklügeltes Kammerdesign, das bis zu 5 Stufen von Ätzprozessen ermöglicht. TOKYO ELECTRON TE-5000 wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und eine hohe Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Der Ätzer ist für Prozesskammergrößen bis 200 mm x 200 mm und Wafergrößen bis 300 mm ausgelegt. Das Be- und Entladen von Wafern kann auch automatisch erfolgen, was eine effiziente Chargenverarbeitung ermöglicht. TE-5000 ist mit einer fortschrittlichen, benutzerfreundlichen Softwareschnittstelle ausgestattet. Die Schnittstelle erleichtert die Einrichtung und Steuerung von Ätzprozessen. Die Software ermöglicht es Anwendern auch, verschiedene Parameter wie Gasdurchsatz, Druck und Gasmischverhältnisse zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus können Anwender mit den während des Prozesses gesammelten Daten Ätzprozesse analysieren und optimieren. TEL TE 5000 ist mit einer optimierten Kammerstruktur entworfen, um überlegene Ätzgleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit zu bieten. Es enthält sowohl RF- als auch DC-Quellen und bietet Benutzern eine leistungsstarke Steuerung von Prozessvariablen. Weitere Merkmale dieses Ätzers sind die Möglichkeit, eine schnelle Temperaturregelung, eine optionale Wafer-Mapping-Fähigkeit und ein schnelles Roboterarm-Design durchzuführen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000 ein hochentwickelter, zuverlässiger und benutzerfreundlicher Waferätzer. Dieser Ätzer ist eine gute Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitung, MEMS, Display-Verarbeitung und Photonik-Anwendungen. Durch seine ausgeklügelte Hardware und Software liefert TEL TE-5000 überlegene Etch-Ergebnisse mit überlegener Wiederholbarkeit und Präzision.
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