Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9068911 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ist ein Ascher oder Ätzer zum Ätzen von Halbleiterschaltungen. Es ist eine hochpräzise Maschine, die präzise Ätzbarrieren von wenigen Nanometern können, um feine Linien in ultrareinen Wafern oder dünnen Filmen zu schaffen. Der Ätzprozess wird durch eine Kombination aus Software, Hardware und Vakuumsteuerungs-Hardware sorgfältig gesteuert. TEL TE5000 ist für das Ätzen in trockenen (Plasma-) oder nassen (flüssigen) Prozessen ausgelegt. Beim Trockenätzen baut die Maschine mit einer Plasmapistole und Elektroden eine reaktive Umgebung aus Ionen und Elektronen, die das Design auf dem Substrat ätzen. Beim Naßätzen wird eine flüssige Chemikalie mit Wasser vermischt und diese Lösung zur Erzeugung des Ätzes auf das Substrat gesprüht. TOKYO ELECTRON TE-5000 kann beide großen Flächen auf einmal ätzen (sog. Batch-Ätzen) oder sie kann sich mit kontrollierter Geschwindigkeit über die Oberfläche des Wafers bewegen, während sie kleine Teile in einem Muster (sog. Step-and-Repeat-Ätzen) ätzen. Die Vakuen der Maschine sorgen dafür, dass Plasma und Flüssigkeit vom Wafer ferngehalten werden, und die verschiedenen Sensoren messen den Ätzprozess und dokumentieren die Prozessparameter zur Qualitätskontrolle. Der Ätzvorgang kann auch mit Computerprogrammen gesteuert werden, die die Mustereinstellungen erzeugen. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 ist auch in der Lage, komplexe und komplizierte Muster durch die Verwendung von Schichten aus Maskierungsmaterial über dem Wafer oder durch Reverse-Etch-Prozesse zu erzeugen. Dieser Prozess erzeugt praktikable Muster aus flachen Photomasken („Lift-off“ genannt). Zusätzlich können auch sekundäre Prozesse wie Sputtern, chemische Dampfabscheidung und Ionenimplantation durchgeführt werden. TE-5000 ist ein zuverlässiges Ätzsystem, das hochauflösende Ätzungen schnell und präzise herstellen kann. Seine feine Kontrolle ist durch sein fortschrittliches Design kombiniert mit seinen anspruchsvollen Software-Steuerungssystemen. TE5000 ist ein wertvolles Werkzeug für das Präzisionsätzen in der Halbleiterindustrie.