Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Wafer, integrierte Schaltungen und andere Komponenten mit Präzision und Wiederholbarkeit effektiv zu ätzen und zu aschen. Diese Maschine verwendet ein modernes optisches Spektralphotometer, um die Prozessparameter in Echtzeit für überlegenes Ätzen und Aschen genau zu messen. Die Ultrahochvakuumumgebung von TEL TE5000 verhindert, dass Partikel in der Luft den Ätz-/Ascheprozess beeinflussen und bietet eine ultrasaubere Umgebung für einen zuverlässigen Betrieb. Zusätzlich bietet der Ascher eine verbesserte Selektivität, um ein minimales unerwünschtes Ätzen kleinerer Merkmale zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON TE-5000 unterstützt Substratgrößen von 1 Zoll bis 8 Zoll, mit einer maximalen Temperatur von 850 ° C, einem maximalen Kammerdruck von 0,5 Torr und einer Ascher-Bandbreite von 8 kHz. Das Gerät hat eine maximale Stufenhöhe von 20 µm und verfügt zudem über eine programmierbare Spulenbaugruppe, die ein gleichmäßiges Ätzen und eine gleichmäßige Reduktion von Oxidschichten gewährleistet. Programmeinbettung für verschiedene Waferbearbeitungsdetails ist auch mit TE 5000 möglich. TE-5000 verfügt über eine Vielzahl von Teilsystemen zur Optimierung des Prozesses, darunter eine Prozessreaktorkammer, eine In-Process Chamber Control Unit (ICCU), eine robuste Heavy Duty SEM-Säule, ein schnell arbeitendes chemisches Versorgungssystem, einen Hochleistungs-Mikrowellengenerator und eine Echtzeit-Gaseinspritzeinheit. Es verwendet auch ein spezialisiertes Softwarepaket für den schnellen Datenabruf, interaktive Kommunikation, Prozessoptimierung und freundliche grafische Schnittstellen. Für eine verbesserte Sicherheit und Effizienz umfasst TOKYO ELECTRON TE5000 eine Wafer-Kassettenkippmaschine, einen In-Plane Service Bag Filter (IPF) für die Sammlung von Feinpartikeln und ein ultrasicheres, geräuschminderndes Gehäuse mit Filtern und Reinigungswerkzeug. Darüber hinaus wurde es entwickelt, um Energie zu sparen, indem eine proprietäre thermische Magnetron-Technik (THANM) verwendet wird, um den Gasverbrauch zu senken und die Betriebskosten zu senken. Insgesamt ist TE5000 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für das präzise Ätzen und Aschen von Wafern, integrierten Schaltungen und anderen Komponenten entwickelt wurde. Mit seinem fortschrittlichen optischen Spektralphotometer und einer Vielzahl modernster Funktionen sorgt diese Maschine für zuverlässige Operationen und verbesserte Verarbeitbarkeit.