Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9269142 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000
ID: 9269142
Wafergröße: 6"
Etchers, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ist ein halbautomatischer, kostengünstiger Ätzer/Ascher. Es ist entworfen, um Dünnschichtmaterialien zu ätzen und oder zu aschen. TEL TE5000 ist mit einer Low-Power-Plasmaquelle, einer High-Output-Mikrowellen-Plasmaquelle und einer Niederdruck-Gasquelle ausgestattet. Die Quellenkombination ermöglicht das Ätzen oder Aschen verschiedener Substrate, einschließlich Glas, Silizium, Metall und organischen Materialien. TOKYO ELECTRON TE-5000 Ätz- und Ascheausrüstung wurde entwickelt, um niederwertige Plasmaätzverfahren und niederdruckchemische Ascheverfahren bereitzustellen. TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000 etch-and-ash System wird über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) gesteuert. Mit dieser Schnittstelle können Anwender Ätz- und Ascheprozesse einfach programmieren und überwachen. TEL TE-5000 bietet eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprogrammen für spezifische Prozesse wie einseitige Ätz-, zweiseitige Ätz-, Ätz- und Ascheprozesse und zweistufige Ätz- und Ascheprozesse. TE-5000 bietet auch eine breite Palette von Sputtermodus-Einstellungen, von Low-Power-DSE-Modus für die Reinigung und De-Titan bis High-Power-DCD-Modus für das Sputtern von Aluminium- und Titanschichten. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 Ätz- und Ascheeinheit ist auch mit fortschrittlicher Diagnosetechnologie ausgestattet. Die Maschine bietet eine Inline-Diagnose, einschließlich Echtzeitanalyse und Vorhersage von Ätz- und Ascheprozessen. Diese Technologie ermöglicht es den Betreibern, den Status von In-situ-Verarbeitungsparametern zu überwachen und ein sofortiges Feedback zum Ätz- und Ascheprozess zu geben. TEL TE 5000 ist aus einem starren, stabilen Rahmen aufgebaut und umfasst eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, wie Druckregelmechanismen und Kühlsystemen. TOKYO ELECTRON TE 5000 kommt auch mit einer Vielzahl von zusätzlichen Funktionen wie automatische Plasmareinigung, Gasrückgewinnung und Steuerungssysteme. TOKYO ELECTRON TE5000 ist ein vielseitiger, kostengünstiger Ätzer und Ascher zum Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterialien. Es ist mit einer fortschrittlichen Benutzeroberfläche und Diagnosetechnologie ausgestattet, so dass es einfach zu bedienen und zu überwachen Ätz- und Ascheprozesse. TE 5000 bietet eine niedrige Valenz Plasmaätzung und Niederdruck chemische Asche Modus für eine Vielzahl von Substraten. Darüber hinaus bietet das Tool eine Inline-Diagnose, automatische Steuerungssysteme und eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich Druckkontroll- und Kühlsysteme.
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