Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9148389 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für kostengünstige Ätzprozesse mit hoher Dichte. Das System verwendet ein einzigartiges Design, das eine automatisierte Spursteuerung (ATC) zur Steuerung der Breite und Bewegung des Ätzstrahls verwendet. Das ATC bietet eine hohe Genauigkeit in der Ätzstrahlposition und -bewegung, was zu einer verbesserten Ätzqualität führt. TEL TE 5000S ATC umfasst außerdem eine hochpräzise Strahlpositioniereinheit und eine präzisionsgesteuerte Ätzstromquelle zur Aufrechterhaltung einheitlicher Ätzraten. TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC ist eine Dual-Level-Maschine, die mehrere Materialschichten mit hoher Genauigkeit und Durchsatz durchätzen kann. Es eignet sich auch zum Ätzen auf eine Vielzahl von Substraten, wie SiO2, SiNx und SiGe. Die Ätzrate ist mit einer breiten Palette von Ätzfunktionen einstellbar, sodass der Ätzer mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit ätzen kann. Das Werkzeug hat auch niedrige Betriebskosten und kann bei der Herstellung von feinen Linien und Strukturen verwendet werden. TE 5000S ATC nutzt eine integrierte Ionenquelle und Ionenkammer zur Steuerung der Ätzrate. Das Asset enthält auch einen erweiterten Controller zur Steuerung des Ätzprofils. Das Modell ermöglicht eine schnelle Einrichtung und einfache Bedienerschnittstelle zur Steuerung der Prozessparameter, einschließlich Spannung, Strom, Strahlrichtung und Ätzrate. Der ATC wird von einem Schrittmotor für genaue Drehzahl- und Positionsregelung angetrieben. TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie SiO2, SiNx, SiGe, GaN und mehr zu ätzen. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine überlegene Steuerung der Ätzprozessparameter einschließlich Strom, Spannung und Ätzrate bietet und qualitativ hochwertige Ätzergebnisse liefert. Das System kann zum Ätzen von Durchgangslöchern, blinden Vias und komplexen Mustern sowie anderen fortschrittlichen Ätzprozessen verwendet werden. TEL TE 5000S ATC verfügt über eine Hightech-Edelstahlkonstruktion mit Quarzfenster und Hochtemperatur-Glasseitenwänden, die einen hervorragenden Schutz bieten. Das Gerät ist einfach zu bedienen und verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche mit einem grafischen Display, wodurch Prozessdaten einfach eingerichtet, überwacht und gespeichert werden können. Die Maschine ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Notabschaltung des Ätzvorgangs im Notfall. TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC bietet ein robustes, zuverlässiges und effizientes Ätzwerkzeug für kostengünstige Ätzprozesse mit hoher Dichte. Das Asset bietet eine überlegene Kontrolle der Ätzprozessparameter und liefert qualitativ hochwertige Ergebnisse mit hoher Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das Modell ist ideal für die Herstellung von feinen Linien und Strukturen, sowie für Durchgangslöcher, blinde Vias und komplexe Muster.