Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #197615 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 197615
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Oxide etcher, 6" Chamber 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ist eine Ätz-/reaktive Ionenätzausrüstung (RIE), die mit fortschrittlicher Technologie und breiter Kompatibilität mit verschiedenen Gerätetypen entwickelt wurde. Das Ätzen wird häufig in elektronischen Anwendungen zur Herstellung und Musterung von Mikro- und Nanostrukturen verwendet. Das System weist eine Photolithographie auf, wobei auf einem Substrat mit ultraviolettem (UV) Licht ein strukturierter Photolack gebildet wird, der anschließend mit einem reaktiven Gas in das Substrat geätzt wird. TEL TE 5000S eignet sich hervorragend für eine Vielzahl von Prozessen, darunter Trockenätzen, Nassätzen, Ionenstrahlätzen, physikalisches Ätzen und andere spezielle Ätzprozesse. TOKYO ELECTRON TE 5000 S wird durch eine vernetzte grafische Benutzeroberfläche angetrieben, die eine effiziente und genaue Ätzprozesssteuerung ermöglicht. Seine verschiedenen Einstellungen können vorprogrammiert und auf optimale Leistung eingestellt werden. Die große Variabilität in der Konfiguration macht es für eine Vielzahl von Ätzanwendungen geeignet. Es verwendet eine breite Palette von Gasen und bietet einen optimalen Prozess durch individuell einstellbare Gasflüsse. Es hat einen geringen Gasverbrauch und eine minimale Abfallproduktion, was dazu beiträgt, eine zunehmend umweltfreundliche Maschine zu gewährleisten. Das Werkzeug besteht aus einer intelligenten Prozesskammer, die mit Strahlstigmatisierungs- und Retikelstufen-Ausrichtsystemen gekoppelt ist und ein hohes Maß an Genauigkeit und Stabilität bietet. Sie weist ferner eine Z-Achsen-Höhenverstelleinrichtung auf, die für eine variable Filmätzrate von Ätzschritten erforderlich ist. Die Kammertemperatur von TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S kann genau auf das gewünschte Niveau eingestellt werden. Das Modell verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie automatisiertes Türschloss und Notabschaltung, um den Bediener und die Umgebung zu schützen. Die integrierten bildgebenden und messtechnischen Systeme ermöglichen eine genaue Aufzeichnung der Ätzstruktur. TOKYO ELECTRON TE 5000S verfügt über verschiedene Steuerungsfunktionen, wie Gasfluss- und Stromleckageüberwachung und Prozessgastests. TE 5000S ist eine ideale Lösung für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich komplexer Gerätebearbeitung, Substratproduktion und Schaltungsherstellung. Seine fortschrittliche Technologie macht es zu einem zuverlässigen und effizienten Werkzeug, das robuste und genaue Ätzprozesse gewährleistet. Es ist eine kostengünstige Ausrüstung, die die Fertigungszeit und -kosten erheblich reduzieren kann.
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