Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9226073 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 9226073
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
Etcher, 6" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für hochpräzise Ätzanwendungen entwickelt wurde. Dieser Ätzer/Ascher ist ein vielseitiges, leistungsstarkes Gerät, das das hochauflösende lithographische Ätzen verschiedener Substrate erleichtert. Es ist in der Lage, nasse Prozesse auf Wafern bis zu 8 Zoll Durchmesser bei Temperaturen bis zu 1000 ° C durchzuführen. TEL TE 5000S verfügt über einen fortschrittlichen Mehrstrahl-Scanner auf der Oberseite und liefert eine präzise Kantendefinition von Ätzmustern, ein Prozess, der mit fortschrittlichen Kantenpoliertechniken weiter verbessert werden kann. TOKYO ELECTRON TE 5000 S bietet eine Reihe einzigartiger, proprietärer Funktionen mit einer Reihe von bildgebenden Werkzeugen wie fortschrittliche optische Bildgebung, hochauflösende Rasterelektronen-Transmissometer und Elektronenstrahl-Lithographie zur Musterdefinition. TE 5000S umfasst auch eine Reihe automatisierter Prozesskontrollmaßnahmen, einschließlich der Fähigkeit, die chemische Zusammensetzung der im Ätzprozess verwendeten Gase und Lösungen sowie die Temperatur- und Druckwerte innerhalb des Ätzers zu überwachen. Darüber hinaus ist die Vorrichtung mit einer Reihe von Prozessmesswerkzeugen ausgestattet, einschließlich der Verwendung von Atomkraftmikroskopie, um eine maximale Genauigkeit beim Ätzen zu gewährleisten. Zusätzlich zu diesen Funktionen verfügt TE 5000 S auch über verschiedene Sicherheitsfunktionen, um das Gerät, seine Bediener und seine Umgebung zu schützen. Dazu gehören eine Trennkammer, ein Notabsperrventil mit geringem Durchfluss und eine Reihe von Sicherheitssensoren und Alarmen. Darüber hinaus verfügt die Vorrichtung über ein robustes Edelstahlgehäuse, das dafür ausgelegt ist, dass es während des Ätzvorgangs in keiner Weise beschädigt oder abgebaut wird. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S ein leistungsstarkes, präzises und zuverlässiges Ätz-/Aschegerät. Es bietet eine Reihe von anspruchsvollen Funktionen, um ein präzises Ätzen verschiedener Substrate sowie fortschrittliche automatisierte Prozesskontrollmaßnahmen und Sicherheitsmerkmale zu ermöglichen, um maximale Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten.
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