Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9251508 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 9251508
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Dry etcher, 6" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ist ein Hightech-Ätzer/Ascher, der speziell für photolithographische Prozessanwendungen entwickelt wurde. Es besteht aus einer chemisch inerten Quarzkammer, einer hochpräzisen Ätzdüse und einer erweiterten Steuerungssoftware. Dieser Ätzer/Ascher arbeitet mit einem genau gesteuerten Strahl von energetischen Ionen, um Muster auf einem künstlich erzeugten Substrat wie Quarz, Polymeren, Metallen und anderen Materialien zu ätzen. Dank fortschrittlicher Steuerungssoftware und Qualitätskomponenten bietet es eine hervorragende Ätzauflösung. TEL TE 5000S hat einen relativ kleinen Formfaktor, der einen spannungsfreien Ätzprozess gewährleistet. Die Quarzkammer ist vollständig umschlossen, wodurch der Wärmeübergang aus dem Bereich des zu ätzenden Substrats minimiert wird. Darüber hinaus erzwingt eine leistungsstarke He-Ne-Laserquelle die Ätzgenauigkeit, indem sie einen extrem fokussierten Ionenstrahl liefert. Der Strahl ist einstellbar und kann auf die spezifischen Ätzanforderungen jeder Anwendung abgestimmt werden. TOKYO ELECTRON TE 5000 S wird mit fortschrittlicher Steuerungssoftware betrieben. Diese Software ermöglicht eine breite Palette von Parametern, einschließlich Parameter wie Ätzwinkel, Ätztiefe, Ätzzeit, Gasdurchflussrate und Strahlgröße. Darüber hinaus kann die Software so programmiert werden, dass mehrere Ätzprozesse nacheinander ausgeführt werden, sodass sie ideal für die gleichzeitige Ausführung mehrerer Anwendungen geeignet ist. Neben der überlegenen Ätzleistung verfügt TE 5000 S auch über ein integriertes Temperaturüberwachungssystem. Dies ermöglicht eine präzise Temperaturregelung bei Ätzprozessen und gewährleistet optimale thermische Eigenschaften für das Substrat. Der Ätzer/Ascher bietet auch verschiedene Arten von Gasströmen an, die eine Anpassung der Ätzumgebung an die Anwendungsanforderungen ermöglichen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE 5000S ein ausgezeichneter Ätzer/Ascher für photolithographische Prozessanwendungen. Es bietet genaue Ätzung, präzise Temperaturregelung und überlegene Steuerungssoftware und ist somit eine ideale Wahl für Anwendungen, die hohe Präzision erfordern.
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