Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #293819191 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC ist ein Ätzer/Ascher, der für angewandte Experimente, analytische Experimente und Produktion optimiert ist. Es verfügt über eine große Substratstufe, die das Be- und Entladen von Proben ohne zusätzliche Werkzeuge, ein stark verbessertes Design für seinen Gaskreislauf und ein hocheffizientes Vakuumsystem ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher hat eine computergesteuerte Geschwindigkeit von 0 bis 200Hz, was eine einfache und präzise Steuerung des Substratätzprozesses ermöglicht. Zusätzlich ist die Substratvorspannung von 0 bis -200V einstellbar, was eine Steuerung von Ätztiefen und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Es verfügt über eine einzigartige Schnittstelle, die eine einfache Parametereingabe ermöglicht, so dass es ein benutzerfreundlicher Ätzer ist. Für die Prozesssteuerung verwendet TEL TE 580LC eine hohe Genauigkeit, eine In-situ-Endpunkterkennung sowie eine Vielzahl von Rezepteinstellungen. Diese Einstellungen sind leicht programmierbar, und die Endpunkterkennung ermöglicht konsistente Ergebnisse. Prozesswiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit werden durch eine hervorragende Seitenwandprofilsteuerung und gleichmäßiges Ätzen gewährleistet, während der Hochgeschwindigkeitsmodus eine schnelle Ätzleistung liefert. Sein extra großes 300mm x 400mm Substratfach kann eine Vielzahl von Probengrößen aufnehmen, und sein digitaler 5-stufiger einstellbarer Gasdurchflussmesser ermöglicht eine genaue und zuverlässige Gaseinleitung. TOKYO ELECTRON TE 580LC ist mit einer chemikalienbeständigen Edelstahlkammer für Korrosionsbeständigkeit und einfache Wartung ausgestattet. Dieser Ätzer/Ascher verfügt auch über einen Zweifrequenz-HF-Generator, um mit seinem variablen Leistungsbereich bis zu 500W eine größere Auswahl an verfügbarer Leistung zu ermöglichen. Schließlich ist es mit einem In-situ-Reinigungssystem ausgestattet, um Partikelverunreinigungen während der Verarbeitung zu verhindern und sicherzustellen, dass der Ätzprozess sauber und stabil bleibt. TE 580LC wurde entwickelt, um Anwendern eine optimale Ätzleistung für eine Vielzahl von Substraten zu bieten. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über zahlreiche Leistungsmerkmale wie präzise Endpunkterkennung, einstellbare Verarbeitungsgeschwindigkeit und einstellbare Gasdurchsätze, die ihn ideal für Experimente und Produktion machen. Die extra große Substratgröße ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Proben, während die chemikalienbeständige Edelstahlkammer für zuverlässige Leistung in einer Vielzahl von Klimazonen sorgt.