Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC ist ein hochpräziser Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie entwickelt wurde. Die Anlage basiert auf einem hocheffizienten, in sich geschlossenen System, das Plasmaquelle, Prozesskammer, Vakuumpumpe, Controller und Software integriert. Diese Kombination bietet Anwendern eine hohe Genauigkeit und Prozesskontrolle. TEL TE 580LC ist in der Lage, Funktionsgrößen bis zu 10 μ m in linearen Ätz-/Ascheranwendungen zu verarbeiten. Das Gerät ist mit einem Multispalt-Lineararray-Scanner ausgestattet, um eine gleichmäßige Belichtung der Waferoberfläche und eine genaue Ätz-/Ascher-Profilsteuerung zu gewährleisten. Die Kammer hat eine verbesserte Prozesskammerkonstruktion, die einen verbesserten Durchsatz und eine bessere Prozesssteuerung ermöglicht. TOKYO ELECTRON TE 580LC verfügt über eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen wie Temperaturrückkopplungssteuerung für konsistentes Ätzen/Aschen, Echtzeit-Massenspektrometrie-Überwachung und präzise Druckregelung. Die fortschrittlichen Prozesskontrolltechnologien sorgen für gleichbleibend hochwertige Ergebnisse und erhöhte Prozesswiederholbarkeit. TE 580LC verfügt auch über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, wie Hochdrucksicherheitsventil, Verschlusssperre und Fernstart. Die Maschine verfügt über einen integrierten Abgaskrümmer, der einen effizienten und sicheren Gasverbrauch ermöglicht und eine sichere Arbeitsumgebung gewährleistet. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine robuste und redundante Kühlung mit mehreren Ventilatoren und Kühlkörper, um die Betriebstemperatur stabil zu halten und eine Überhitzung zu verhindern und die Langzeitleistung des Modells zu erhalten. TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und für routinemäßige Prozesse stehen automatisierte Rezepte und Prozesseinstellungen zur Verfügung. Die Ausrüstung ist auch einfach zu warten, mit regelmäßiger präventiver Wartung, die einen ordnungsgemäßen Betrieb gewährleistet. Insgesamt ist TEL TE 580LC ein zuverlässiges und leistungsstarkes Ätz-/Aschersystem, das eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen bietet. Das Gerät ist robust aufgebaut und einfach zu bedienen und kann hervorragende Leistung und konsistente Ergebnisse liefern.