Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascher-Prozesswerkzeug für ultrafeine Strukturierung und glatte Oberflächengüte. Dieser Ätzer/Ascher liefert einen hohen Durchsatz mit ausgezeichneter Kontrolle der Partikelverschmutzung und bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit über Wafer. Dieser erweiterte Ätzer/ascher verfügt über eine Lade- und Entladekassette. Dieses System kann mit bis zu 8 Kassetten beladen werden, was eine effizientere Waferteleportation ermöglicht. Der fortschrittliche TEL TE 580LC Ascher/Ätzer verfügt zudem über ein verbessertes Bühnenbild, das Waferspiel und mögliche Schäden am Wafer reduziert. Sobald die Wafer geladen sind, verwendet TOKYO ELECTRON TE 580LC Ätzer/Ascher eine Lastschloß-Prozesskammer. Diese Prozesskammer ist mit einem oder zwei Sublimationsöfen und einer Substratvorspannung ausgestattet. Diese Kombination von Technologien ermöglicht eine verbesserte Prozesssteuerung, eine schnellere Wafer-Wende und eine verbesserte Kantendefinition. Der Ätzer/Ascher verfügt auch über erweiterte Ätzsteuerungsfunktionen. Diese erweiterte Ätzsteuerung ermöglicht es dem Benutzer, die Ätzrate über ein automatisiertes Magnetfeld zu variieren. Diese Ätzrate kann an spezifische Anforderungen angepasst werden. Darüber hinaus verfügt dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher über einen Energiespeicher mit hoher Kapazität für verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und präzise Steuerung. Die verbesserte Ätzgleichmäßigkeit ermöglicht eine bessere Prozesswiederholbarkeit und höhere Ausbeuten. TE 580LC verfügt zudem über einen Hochtemperaturprozess mit einer maximalen Temperatur von 400 ° C. Diese Funktion hilft, eine überlegene Profilleistung zu erzielen und eine hohe Produktqualität zu gewährleisten. Es hilft auch, gegen Ausgasungen zu verhindern, was ein häufiges Problem war, das den Durchsatz reduziert. Darüber hinaus umfasst dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher eine fortschrittliche Neutronenstrahlungsdetektion zur Kontaminationskontrolle. Diese Funktion trägt dazu bei, dass unerwünschte Verunreinigungen erkannt und schnell entfernt werden. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC Ätzer/Ascher ein hochentwickeltes Prozesswerkzeug für ultrafeine Musterung und glatte Oberflächengüte. Es bietet ausgezeichneten Durchsatz und überlegene Gleichmäßigkeit über Wafer und ist in der Lage, überlegene Profilleistung und Prozesswiederholbarkeit zu erreichen.