Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109092 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC (TEL TE 580LC) ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. TOKYO ELECTRON TE 580LC ist eine vollautomatische High-End-Bearbeitungsausrüstung, die für überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen empfindlicher Metall- und Polysiliziumablagerungen auf Wafern entwickelt wurde. Das System verwendet ein induktiv gekoppeltes Ar/O2 Plasma, um die Ionen aufzuladen und Partikel auf der Oberfläche des Wafers abzuscheiden. Plasma wird in einer kontrollierten Umgebung mit hochfrequenter ICP (Inductively Coupled Plasma) -Leistung mit präziser Steuerung der Ionenenergie erzeugt. Das hohe Energie- und rauscharme Signal des ICP sorgt dafür, dass die gewünschten Eigenschaften der geätzten/aschierten Oberfläche erreicht werden. TE 580LC bietet unvergleichliche Prozessgeschwindigkeit und Genauigkeit. Variable Frequenz ICP-Leistung wird verwendet, um die Ätzrate zu erhöhen und die Oberflächengleichförmigkeit des Ätzes zu verbessern. Zusätzlich können TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC mit elektrostatischer Klemmung zur Verhinderung von Wafersticks konfiguriert werden, während die Drehsynchronisationsfähigkeit eine Prozessgleichförmigkeit über mehrere Wafer ermöglicht. Das Gerät hat einen geringen Platzbedarf und ist somit ideal für den Einsatz in engen Laborräumen. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und automatisierte Prozesse ermöglichen eine effiziente und schnelle Bearbeitung von Wafern. Die Maschine verfügt über eine Vakuumkammer mit einer Niederdruckumgebung, so dass sie ohne Ausgasung oder Auslaugung funktionieren kann. Schließlich ist TEL TE 580LC voll kompatibel mit einer breiten Palette von Wafergrößen, so dass Kunden das Tool an ihre Bearbeitungsanforderungen anpassen können. Darüber hinaus können Prozessparameter eingestellt werden, um das Ätzen und Aschen auf verschiedenen Wafermaterialien zu optimieren. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON TE 580LC das ideale Ätz- und Aschegut für die Herstellung empfindlicher Metall- und Polysiliziumablagerungen auf Wafern. Die fortschrittliche Leistung, das kompakte Design und die Benutzerfreundlichkeit machen TE 580LC zur optimalen Wahl für das Ätzen und Aschen in der Halbleiterindustrie.