Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #293667490 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 ist ein hocheffizienter Ätzer/Ascher für fortgeschrittene Substratverarbeitungsanwendungen. Aufgrund seiner Fähigkeit, mehrere Gase für niedrige Temperatur, hohe Selektivität und niedrige Schädigung ätzen mischen, TEL TE 7400 ist ideal für eine Vielzahl von fortschrittlichen Prozessen für Silizium, Galliumarsenid, Kohlenstoff und Quarz-Substrate. TOKYO ELECTRON TE 7400 bietet eine fortschrittliche Prozesssteuerung mit mehreren Gas- und Dimensionsregelventilen (DCV) für präzise Ätzzeiten und Prozesssteuerung. Mehrere reaktive Gasquellen können an TE 7400 angeschlossen werden, um ultraarme Ashing-Prozesse zu erreichen. Mit Hilfe eines wiederholbaren parametrischen Speichers können Gasförder- und Prozessparameter exakt abgestimmt werden. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 verfügt über einen außerachsigen, hochauflösenden Plasmagenerator, der hochwertiges Plasma mit gezielter Ätzrate und niedrigem Hintergrundschaden erzeugt. Der Off-Axis-Generator weist eine eingebaute Vorrichtungsabscheidekammer auf, die einen rückseitigen Wafer-Verschmutzungsschutz ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Plasmagenerator über Kühl- und Sicherheitsschutzfunktionen, die sicherstellen, dass Ätzergebnisse von hoher Qualität und in einer sicheren Umgebung sind. TEL TE 7400 verfügt über eine Mehrzonen-Wärmesteuerung mit Quarzkanalmodul, mit der Benutzer die Gastemperatur von -20 ° C bis 250 ° C genau steuern können. Diese thermische Steuerung hat eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit und die zusätzliche Flexibilität der Prozessgassteuerung ermöglicht eine effiziente Ausnutzung der Ätzgase. TOKYO ELECTRON TE 7400 verfügt über eine Vielzahl von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen wie Fernüberwachung, Plasma-Profilierungseinheit und die fortschrittlichste Bildanalyse-Maschine für besseren Durchsatz und Genauigkeit sowie die Fähigkeit, kritische Prozessergebnisse zu überprüfen. Darüber hinaus bietet TE 7400 eine breite Palette von Software-Steuermodulen, die mit externen Systemen wie Prozessleitsystemen verbunden werden können, um ihre Fähigkeiten weiter auszubauen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 ein hochmodernes Ätz- und Aschewerkzeug, das flexible Substratverarbeitungsfunktionen mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen bietet. Es eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl fortschrittlicher Substratverarbeitungsanwendungen.