Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198267 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400
ID: 9198267
Wafergröße: 6"
Oxide etchers, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiter. Es ist in der Lage, Substrate bis zu 200mm in der Größe zu verarbeiten, so dass es ideal für Halbleiterproduktion, Wafer Sondierung und Verpackung. Die Maschine verfügt über eine Nassätzanlage auf wässriger Basis, die Ätzraten von bis zu 100 nm/min ermöglicht und Wafertemperaturen von bis zu 100 ° C wählt. Es bietet auch mehrere Hohlraumkonfigurationen und erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen, die exakte Ätzprofile mit präzisen Fehlerbehebungen ermöglichen. TEL TE 7400 verfügt über ein hochpräzises Automatisierungssystem dank seiner Fähigkeit, präzise Ätzraten basierend auf Temperatur und anderen Parametern genau zu steuern. Die einfach zu bedienenden Rezepte machen das Gerät auch intuitiv zu bedienen und schnell und präzise einzurichten. Die Maschine ist auch in der Lage, hohe Mengen an ICs und Substraten zu handhaben, was bedeutet, dass sie für Produktionsläufe geeignet ist. Das umweltfreundliche Design von TOKYO ELECTRON TE 7400 nutzt Kühlwasser, um unerwünschten Ätzdampf zu spülen, und verfügt über ein gut gestaltetes Auspuffwerkzeug, das eine einfache Evakuierung flüchtiger Verbindungen ermöglicht. Das beiliegende Design beschränkt auch die Exposition gegenüber gefährlichen Ätzchemikalien. TE 7400 verfügt über einen fortschrittlichen bildbasierten Prozessmonitor, der eine Echtzeit-Waferbildgebung ermöglicht und eine präzise Profilsteuerung und Prozessabstimmung ermöglicht. Dieser Monitor ermöglicht auch eine eingehende Analyse des Ätzprozesses und gibt Einblick in kritische Prozessparameter. Automatische Reinigungs- und Überätzvorgänge können aktiviert werden, um saubere, konsistente Ätzprofile auf einer Vielzahl von Substraten zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 hat die Fähigkeit, die Ätzrate genau zu erfassen, die die Prozessparameter automatisch anpasst, um die Genauigkeit zu erhalten. Kombiniert bedeuten diese Merkmale, dass TEL TE 7400 ein sehr zuverlässiger Ätzer/Ascher ist, der eine effiziente und präzise Produktion fortschrittlicher Halbleiter garantiert.
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