Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9202961 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 ist ein spezialisierter Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Es bietet eine überlegene, zuverlässige und wiederholbare Leistung in den Ätz- und Ascheprozessen. TEL TE 7400 verfügt über eine patentierte Pyrolyse-Vorkonditionierer-Ausrüstung, die die Niveaus des ungleichmäßigen Ätzens und Aschens erheblich reduzieren kann. TOKYO ELECTRON TE 7400 ist ein programmierbarer Ätzer und Ascher und verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Steuerung der Ätz- und Ascheparameter. Die GUI ermöglicht die manuelle Steuerung von Prozessparametern und kann bis zu 50 Sätze individueller Rezepte speichern. TE 7400 ermöglicht auch automatische Prozesse, die Ausfallzeiten sparen und den Zeitbedarf für manuelle Operationen reduzieren können. Der Ätzer ist für eine breite Palette von Ätzgasen wie O2, SF6, CF4 und CHF3 ausgelegt. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 verfügt über ein Reaktantgasfördersystem, das eine gleichmäßige Zufuhr der Ätzgase zu den Wafern gewährleistet. Die Wafer werden in zwei Bearbeitungskammern bearbeitet, eine zum Ätzen und eine zum Aschen. Die Ätz- und Aschezeiten sind mit einem Bereich von 0-999 Sekunden einstellbar. TEL TE 7400 verfügt auch über eine Station für die Montage einer Reihe von Elektroden-Designs, vom Standard-Design bis hin zu einem maßgeschneiderten Design. Die Standardkonstruktion kann für Ätzoperationen verwendet werden, während die kundenspezifische Konstruktion für Schlitzätzoperationen verwendet werden kann. TOKYO ELECTRON TE 7400 Optikeinheit ist entworfen, um eine einheitliche und präzise Elektrodensteuerung während der Ätz- und Ascheoperationen für überlegene Leistung zu gewährleisten. TE 7400 verfügt auch über einen Scan Electronics Mass Flow Controller (SEMFC), der hilft, den Prozessgasstrom sowohl in der Ätz- als auch in der Ascherkammer genau zu steuern. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ätz- und Ascheprozesse präzise und wiederholbar sind. Es hilft auch, die Chancen von Hohlräumen oder unbeabsichtigten Ätzungen oder Asche auf den Wafern zu minimieren. Schließlich verfügt TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 über mehrere Sicherheitsmerkmale. Es gibt eine automatische Türverriegelung, um die Sicherheit beim Betreten des Ätzers zu gewährleisten, und einen Überdruckschalter, um den Ätzer abzuschalten, wenn der Druck die Betriebsgrenzen überschreitet. Die In-Dwell-Überwachung überprüft kontinuierlich die Temperatur der Wafer während der Ätz- und Ascheprozesse. Dies hilft, genaue Temperaturen für gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Insgesamt ist TEL TE 7400 ein spezialisierter Ätzer und Ascher für die Herstellung von Halbleiterscheiben, der überlegene Ergebnisse liefert und einfach zu bedienen ist. Mit seiner patentierten Vorkonditioniermaschine und den programmierbaren Einstellungen für die Prozesssteuerung bietet TOKYO ELECTRON TE 7400 eine zuverlässige und wiederholbare Leistung, die für viele Ätz- und Aschevorgänge unerlässlich ist.