Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500 ist eine Art von Ätz- und Ascherausrüstung, die entwickelt wurde, um chemisch-mechanische Polierverfahren (CMP) zu schaffen, die in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen verwendet werden. Dieses System bietet einen präzisen chemisch-mechanischen Materialabtrag, Sub-1-Angstrom-Wafer-Polieren und mehrere Kammerkonfigurationen für einen optimalen Prozessdurchsatz. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von experimentellen Modulkonfigurationen für den Einsatz in der fortgeschrittenen Forschung und Entwicklung. TEL TE 7500 verfügt über zwei Verfahrenstypen, den 'ePolish' und den 'etch/Ash' -Modus. Im ePolish-Modus wird das isotrope und oberflächensegmentierte Polieren durch den Einsatz der CMP-Technologie bereitgestellt, die eine präzise Prozesssteuerung und überlegene Wafer-Poliergenauigkeit bietet. Für den Ätz-/Aschemodus verfügt TOKYO ELECTRON TE 7500 über eine modulare Mehrkammerarchitektur, die eine optimierte Verarbeitung für Ätz-/Ascherezepte mit effizienter Waferschnittstelle für die Substratübertragungsgenauigkeit ermöglicht. TE 7500 verwendet ein digitales bürstenloses Spindelmotor-Design, das maximale Prozessschaltungseffizienz ermöglicht und es Benutzern ermöglicht, höhere Durchsatzraten zu erzielen. Es verfügt auch über intelligente Oase-Steuerungssoftware, die die flüssige Umgebung sowohl für Standard-Wafer-Polier- als auch Ätz-/Ascheprozesse überwacht und anpasst. Dadurch kann das Gerät automatisch die Prozessstabilität für eine erhöhte Reproduzierbarkeit und Qualitätskontrolle aufrechterhalten. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500 verfügt auch über eine in situ Oxid/Metallization Deposition Machine, die es ermöglicht, die Wafer sofort zum Polieren, Ätzen oder Aschen vorzubereiten. Darüber hinaus verfügt TEL TE 7500 auch über eine intelligente Rezeptsteuerungssoftware, die für die Echtzeit-Optimierung von Prozessparametern während des CMP-Prozesses sorgt und eine Datenbank bewährter Rezepte verwendet, die im in-situ Oxid/Metallization Deposition Tool gespeichert sind, um optimale Zykluslängen und Prozessqualität zu gewährleisten. Zur Erprobung und Entwicklung neuer Prozesse steht ebenfalls ein Open-Source-Rezept-Entwicklungstool zur Verfügung. TOKYO ELECTRON TE 7500 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ätz- und Ascher-Asset mit überlegener Prozessgenauigkeit und Durchsatz. Seine verschiedenen Eigenschaften machen es eine ideale Wahl für viele industrielle Anwendungen, wie Wafer-Ebene Verpackung, fortschrittliche dielektrische CMP oder riesige magnetoresistive Geräteherstellung. Dieses Modell ist eine ideale Lösung zur Steuerung der Prozesskosten, eine kritische Komponente erfolgreicher Geschäftsabläufe.