Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293600493 zu verkaufen

ID: 293600493
Weinlese: 1994
Oxide etcher 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M ist eine High-End-Ätz-/Aschermaschine für Präzision, hocheffizientes Ätzen und Aschen von Materialien wie Silizium, GaAs und AlAs. Das System basiert auf einer fortschrittlichen mehrstufigen Technik, bei der die zu bearbeitende Oberfläche mehreren, sequentiellen Ätz- und/oder Ascheschritten unterzogen wird. Das Ergebnis ist eine genaue, wiederholbare Verarbeitung, die die höchsten Erträge mit niedrigsten Verunreinigungen liefert. TEL TE 7500M ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen ausgestattet, die es zu einer leistungsstarken, zuverlässigen und benutzerfreundlichen Lösung für Ätz- und Veraschungsanforderungen machen. Seine Multi-Wafer-Kassetten-Ladeeinheit und automatisierte Übertragungsfunktionen reduzieren die Handhabung des Bedieners, während der Auto-Lock-Substrathalter eine genaue Ausrichtung und Rückverfolgbarkeit von Substratlasten gewährleistet. Die Maschine ist auch mit einer intuitiven, einfach zu navigierenden grafischen Benutzeroberfläche mit vollständigen Einrichtungs-, Überwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Die Ätz- und Aschefunktionen von TOKYO ELECTRON TE 7500M sind Top-of-the-line. Es bietet intelligente, anspruchsvolle Prozessleitsysteme zur Optimierung von Produktivität und Ertrag, mit wählbarer kraftgesteuerter Nassätzung, Trockenätzen mit hohem Durchsatz und Edelgasspülung. Darüber hinaus umfasst das Tool eine globale geometrische Korrektur für eine einheitliche Ätztiefe sowie eine fortschrittliche Überwachung und Anpassung der chemischen und Massenbilanz, um genaue Prozessergebnisse sicherzustellen. TE 7500M verfügt über eine Vakuumübertragungsanlage mit einer chemischen Pumpe und einer eingebauten mechanischen Pumpe sowie einen In-situ-Monitor, der chemische, Prozess- und Vakuumparameter überwachen und anpassen kann, um eine hohe Produktqualität sicherzustellen. Weitere Funktionen wie Konfigurationsvorlagen, Planungsmodus und Online-Rezeptänderung machen TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M zu einem idealen Gerät für erweiterte Ätz- und Aschebedürfnisse. Insgesamt bietet TEL TE 7500M eine ideale Lösung für Ätz- und Ascheaufgaben, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit erfordern. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, zuverlässigen Prozessen und der intuitiven Benutzeroberfläche bietet dieses Modell überlegene Leistung und Effizienz, minimiert gleichzeitig Verschwendung und erzielt die höchsten Erträge.
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