Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400 ist ein Ätzer/Ascher zur präzisen Formung und Verarbeitung von Halbleiter- und anderen Substraten. TEL TE 8400 ist ein Nassätzgerät, das Werkzeuge, Dioden und andere digitale integrierte Schaltungen ätzen kann. Das System ist mit einer berührungslosen Wafer-zu-Wafer-Handhabungseinheit und einer 7-seitigen Plasma/Chemikalien-Abgabemaschine für präzise Musterprozesse ausgestattet. TOKYO ELECTRON TE 8400 unterstützt eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Photolithographie, Resist Stripping und Metallabscheidung. Das Werkzeug verwendet ein ionisiertes Quellgas, wie Chlor oder Fluor, um ein präzises Plasma zum Ätzen in den Wafer zu erzeugen. Das Gas wird mit einem Hochfrequenzsignal (RF) kombiniert, um ein Plasma zu erzeugen, das zusätzliches Material auf der Waferoberfläche ätzen oder abscheiden kann. Darüber hinaus verwendet TE 8400 eine chemische Station, um die Ätzleistung zu stärken und die Ätzprozesszeit zu reduzieren. Das Asset ist mit High-End-Funktionen wie Oxid-Antireflexionsbeschichtung (AR), Tunnelreinigung, Abstandsumgehung und Ätzselektivitätsoptimierung konfiguriert. Die AR-Beschichtung reduziert das Reflexionsvermögen von der Waferoberfläche, um genaue Mikromuster zu gewährleisten. Die Tunnelreinigung reduziert Nebenprodukte von Ätzprozessen, indem unerwünschte Verunreinigungen, die sich zum Ätzendpunkt hin entwickeln, entfernt werden. Der Abstandshalter-Bypass beseitigt die Notwendigkeit herkömmlicher Hartmasken-Abstandshalter und ermöglicht es Benutzern, Ätzfunktionen direkt zu mustern. Schließlich trägt die Ätzselektivitätsoptimierung zur Verbesserung der Prozesswiederholbarkeit bei und reduziert die Empfindlichkeit gegenüber Prozessvariationen. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich Selbstdiagnose, Sensoren, Alarme und Sicherheitsschlösser. Die Selbstdiagnose-Funktion überwacht den Zustand und die Leistung des Modells und sorgt für einen optimalen Betrieb der Maschine. Die Sensoren überwachen externe Prozessbedingungen, um genaue Ätzprozesse zu gewährleisten. Die Alarmausrüstung warnt den Betreiber, wenn unsichere Zustände erkannt werden. Schließlich stellt das Sicherheitsschlosssystem sicher, dass nur autorisiertes Personal auf das Gerät zugreifen kann. Insgesamt ist TEL TE 8400 ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der sich gut für anspruchsvolle Halbleiter- und andere Substratprodukte eignet. Die fortschrittliche Technik und Funktionen der Maschine bieten Anwendern präzise und wiederholbare Ätzprozesse und verbesserte Sicherheit.