Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400PE #293772610 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400PE ist ein Ätz-/Ascher-Gerät, das zur Strukturierung enger Merkmalsgrößen und hoher Seitenverhältnisse in Halbleiter- und MEMS-Fertigungsprozessen verwendet wird. Die hochgradig konfigurierbare Plattform mit ihrer großflächigen Quelle ermöglicht einen erhöhten Durchsatz und eine höhere Flexibilität. Das Plasmabearbeitungssystem TEL TE 8400PE ist mit integrierten Ladeschloßkammer- und In-situ-Überwachungsfunktionen für die Verarbeitung von Substraten bis 410 x 510 mm konzipiert. TOKYO ELECTRON TE 8400PE verfügt über einen großen Substrathalter, der mit einem 4-axialen Roboterarm betrieben wird und das automatische Be- und Entladen ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über zwei Heißwandquellen vom Typ MDP (Magnetron-Dominated-Plasma), die in der Lage sind, eine Reihe von Gasgemischen und einen breiten Betriebstemperaturbereich bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt dieser Ätzer/Ascher über eine Electro Asher-Quelle mit einem Regelbereich von 0-2000 W und einer einstellbaren Leistungsdichte von 0,5 W/cm2 bis 20W/cm2 für eine genaue Aschensteuerung. Dieser Ätzer/Ascher verfügt auch über einen parallelen Ätzprozess für hohe Seitenverhältnisse und enge Funktionsgrößen mit Prozesssteuerung von bis zu 30 Kanälen durch ein ETCH EMC. Für Stufenätzen, Hochselektivitätsätzen, HEX-Ätzen, Aschen und andere spezifische Ätzreaktionen stehen eine Vielzahl von Prozessgasen zur Verfügung. Die Maschine kann auch für verschiedene Anwendungen zum Maskenätzen, Opferschichtentfernen und Mikrolochbohren verwendet werden. Das Beschichtungswerkzeug von TE 8400PE eignet sich für Dünnschicht- und CMP-Anwendungen. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400PE bietet Unterstützung für eine vollständige Palette von Prozesssteuerungsoptionen, einschließlich Datenüberwachung und Softwareprozessprotokollierung, um eine äußerst zuverlässige Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus steht ein vollautomatisches Kalibrier- und Asset-Tracking-Asset zur Verfügung, das mit benutzerdefinierten Parametern einfach konfigurierbar ist. Das Modell verfügt über mehrere Funktionen wie Hochgeschwindigkeits-digitale Kommunikation und plattformübergreifende Kompatibilität, wodurch es eine hohe Flexibilität und Funktionalität bietet. TEL TE 8400PE etcher/asher wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare und wiederholbare Ergebnisse für alle Prozessschritte zu liefern. Die intuitive Steuerung ermöglicht eine schnelle Einrichtung und Optimierung und bietet überlegene Prozessvielfalt und Wiederholbarkeit. Dieser Ätzer/Ascher kann alle aktuellen Industriestandards erfüllen und ist damit ein ideales Werkzeug für Halbleiter- und MEMS-Anwendungen.