Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293758823 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 ist eine chemisch verbesserte Ätzausrüstung, die eine Reihe intelligenter, automatisierter Prozesse zum Ätzen komplexer Schaltungsgeometrien in Halbleitermaterialien verwendet. Es verfügt über patentierte Ätzprozesstechnologien, die genaue Ätzergebnisse gewährleisten und das manuelle Design überflüssig machen. Das System verfügt über eine oben ladende Vakuumkammer, die zwei selbstjustierende Unterplatteneinheiten aufnimmt, eine, die das Substrat trägt und die andere, die die Maske oder das Muster unterstützt. Die selbstjustierenden Klemmplatten sorgen dafür, dass das Material während des Ätzvorgangs sicher verklebt bleibt und in Schritten von 0,01 mm eingestellt werden kann, um die Genauigkeit der Ergebnisse zu erhalten. Das Substrat wird mit elektrostatischen Stiften in einem elektrostatischen Spannfutter oder anderen ähnlichen Verfahren zur einfachen und genauen Positionierung befestigt. Mit TEL TE 8401 stehen zwei Ätzplasmaquellen zur Verfügung, ein 410 MHz HF-Generator und ein 2,45 GHz Resonator, beide nach dem Cyclotron-Prinzip. Die Zykluszeit für das Ätzen eines einzelnen Materials ist einstellbar und ermöglicht ein Niedertemperaturätzen für hochauflösende Verarbeitung oder Hochtemperaturätzen für einen schnelleren Durchsatz. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Plasmasteuerungsmaschine, die eine Borddesign-Datenbank und ein erweitertes Diagnosewerkzeug umfasst, das Ionisationsverhältnismessungen und Ionenflussschätzung umfasst, um eine genaue Verarbeitung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON TE-8401 verfügt auch über thermische Leistungsüberwachung und Asset-Health-Monitoring, mit Indikatoren und Warnwarnungen für optimale Leistung. Darüber hinaus verfügt das Modell über integrierte Sicherheitsmerkmale, die verhindern, dass brennbare, explosive und schädliche Gase in die Ätzkammer gelangen, sowie eine Temperatur- und Druckregelung, die eine optimale Betriebstemperatur und einen optimalen Druck aufrechterhält. Insgesamt ist TE-8401 eine zuverlässige, leistungsstarke und präzise Ätzausrüstung, ideal für hochauflösende Präzisionsschaltungen für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist patentierte Ätzprozesstechnologien, fortschrittliche Plasmasteuerung und Sicherheitsfunktionen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Herstellung von robusten und expandierenden komplizierten Schaltungen.
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