Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9134027 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401
ID: 9134027
Wafergröße: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschemaschine zum Trockenätzen und Waferwaschen. Gebaut mit einem bahnbrechenden geschlossenen Design, bietet es überlegene Verarbeitungsleistung und Qualität bei gleichzeitiger Gewährleistung der Umweltsicherheit und Verringerung der Arbeitskosten. TEL TE 8401 verfügt über ein leistungsstarkes Ätznetzteil, das für ideale Ätzbedingungen sorgt, unabhängig von Substratmaterial oder Eigenschaftsgröße. Es hat auch Real-Time Clustering DiseaseTARGET, ein exklusives computergesteuertes Ätzbetriebssystem, das Prozess-zu-Prozess-Variationen minimiert. Diese Einheit behält eine hohe Ätzreproduzierbarkeit bei und bietet eine gleichbleibende Ätzqualität auf jedem Substrat. Die fortschrittlichen Waschtechnologien, die in TOKYO ELECTRON enthalten sind, TE-8401 hervorragende partikelfreie Aschergebnisse liefern. Es bietet auch eine breite Palette von Behandlungen für Substrate wie thermische Behandlungen, Opfermuster und Ionenstrahl-Bestrahlung nach Bedarf. Um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, umfasst TEL TE-8401 eine Sicherheitsmaschine mit geschlossenen Werkzeug-Inertgasen, die keine Gefahrstoffleckage gewährleistet. Die Abdeckung der Sicherheitseinrichtung ist mit einem Alarmmodell ausgestattet, das eine Alarmierung auslöst, falls ein Gasleck festgestellt wird. Dies gewährleistet keinen Schaden für Betreiber und Umwelt. TE 8401 hat auch ein erweitertes Softwarepaket namens AUTOSET, das es den Betreibern ermöglicht, alle Rezeptparameter zu programmieren und sie nach Bedarf einfach zu speichern und zu reproduzieren. Dies vereinfacht das Rezept-Handling erheblich und erhöht die Produktivität. Um die gesamte Wartung und Lebensdauer der Geräte zu verbessern, umfasst TOKYO ELECTRON TE 8401 eine automatische Reinigungsfunktion, die einfach zu handhabende Reinigungsvorgänge in vorgegebenen Abständen ermöglicht. Dadurch wird weiterhin eine einwandfreie Qualität jedes in der Maschine verarbeiteten Wafers gewährleistet. Infolgedessen ist TE-8401 das führende Ätz- und Waferwaschsystem, das überlegene Verarbeitungsleistung und -qualität bietet und gleichzeitig die Umweltsicherheit gewährleistet und die Arbeitskosten senkt.
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