Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9161274 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 ist ein Plasmaätzansatz, der für mehrere Halbleiterverfahren in der Mikroelektronik verwendet wird. Der Ätzer ist ein fortschrittliches Werkzeug für präzises Trockenätzen für anspruchsvolle Anwendungen auf Verbundmaterialien. Die automatisierte Steuerschnittstelle und die einfach zu bedienende Prozesssteuerung ermöglichen zuverlässige Ätzprozesse. Die einzigartige selbstjustierende Stromversorgungstechnologie von TEL TE 8401 ermöglicht eine präzise Hochgeschwindigkeitsätzung mit höherem Durchsatz und ausgezeichneter Wiederholbarkeit. Der Ätzer ist mit einer fortschrittlichen Hochgeschwindigkeitsladung ausgestattet, um eine effektive Prozesskontrolle zu gewährleisten, die einen minimalen Verschleiß gewährleistet. Die Hochleistungstransportoblatenmanipulationseinheit wird auch für die schnelle und glatte Oblatenbewegung zwischen dem loadlock und Prozessraum entworfen. Die fortschrittliche Plasmaquelle von TOKYO ELECTRON TE-8401 ermöglicht eine unabhängige Kontrolle der Ätztiefe, des Profils, der Materialabtragsrate und der Minutien, um ein Überätzen zu verhindern. Es verfügt über weitreichende Ätzfähigkeiten und kann verschiedene dielektrische und Polysilizium-Materialien, Kupferschichten oder Isolatoren für eine breite Palette von Halbleiterbauelementen ätzen. Dieses leistungsstarke Werkzeug kann extrem saubere Ätzflächen und ultrahochauflösende Designs mit hoher Geschwindigkeit und minimalen Prozessnebenprodukten liefern. TOKYO ELECTRON TE 8401 umfasst ein integriertes Steuersystem und ein Kommunikationsprotokoll zur Verwaltung von bis zu sechzehn separaten Ätzprozessen. Es verfügt über eine Mehrprofil-Ätzfähigkeit, bei der sowohl Tiefen- als auch Zeitätzen mit der höchsten verfügbaren Genauigkeit und ohne manuellen Eingriff durchgeführt werden können. Darüber hinaus verfügt es über eine integrierte Diagnoseeinheit, um eine konsistente Ätzleistung zu gewährleisten und mögliche Hardwarefehler zu überwachen, wodurch Ausfallzeiten minimiert werden. TEL TE-8401 Ätzer verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich einer Druckverriegelung, um Druckaufbau während des Betriebs zu verhindern, und einen Inertgasdurchflussmesser, um sicherzustellen, dass die Kammer zumindest leicht unter Druck gesetzt wird, um prozessbedingte Verschmutzungen schnell zu blockieren. Die Steuermaschine des Ätzers sorgt auch dafür, dass das Werkzeug erst startet, wenn das entsprechende Kühlgut vorhanden und fertig ist.