Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9398263 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 ist ein Ätzer/Ascher für Präzisionsätz- und Ascheanwendungen. Es ist ein Batch-Plasmaätzer/Ascher mit einem beheizten Sockel, der das Ätzen und Aschen von feinen Eigenschaften mit einem niedrigen thermischen Budget ermöglicht. Es verfügt über hohe Vorspannungsstärken, um Ätz- und Ascheraten, hohe Gleichmäßigkeit und ein breites Ätz- und Aschefenster genau zu steuern. TEL TE 8401 verfügt über vier Betriebsarten: Ätzen, Aschen, Sputtern und Reinigen. Es ist mit einer trockenen, quadrischen Filtereinrichtung ausgestattet, die vier Arten von Filtern umfasst, nämlich die Ätzkammer, die Reaktionskammer, die Kühlkammern und die Spülkammer. Im Ätzmodus kann TOKYO ELECTRON TE-8401 zum Ätzen von feinen Merkmalen mit einer hohen maximalen Leistung von 600 W verwendet werden. Mit seinem fortschrittlichen Ätz-/Aschefenster, einem breiten Kammertemperaturbereich und einer hohen Gleichmäßigkeit können TE-8401 für das hochauflösende Ätzen/Aschen kleiner Merkmale mit verbesserter Leistung verwendet werden. Es ermöglicht die Bildung von gleichmäßig beabstandeten Merkmalen auf der Waferoberfläche mit ihren gleichmäßigen Ätz-/Ascheeigenschaften. TOKYO ELECTRON TE 8401 verfügt außerdem über eine aktive Steuerung zur Steuerung von Stufentemperatur und Druck für gleichmäßige Plasmaparameter. Im Ashing-Modus wird TE 8401 verwendet, um unerwünschte Schichten mit hohen Vorspannungsstärken zu entfernen. Seine hohe Wiederholbarkeit und sein minimales thermisches Budget machen es ideal zum Entfernen von Polymeren und dünnen Metallfolien. Die aktive Gasmanagementeinheit TEL TE-8401 hält den Kammerdruck mit niedrigen Ätzdrücken und hohen Ascheraten aufrecht, ohne die Selektivität des dielektrischen Ätzens durch seine hohe Vorspannungssteuerung zu verringern. Darüber hinaus ermöglicht der fortschrittliche Betriebsmodus von TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401 einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit. Im Sputtermodus kann TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 mit seiner hohen Abscheidungsfähigkeit hervorragende Abscheidungsraten liefern. Mit seinen hohen Vorspannungsstärken und seiner ausgezeichneten Gleichmäßigkeit kann es zur Dünnschichtabscheidung und Sputterreinigung verwendet werden. Darüber hinaus ist die Vorrichtung mit einer herkömmlichen Hohlraumsputterkammer zur anwendungsspezifischen Sputterfähigkeit ausgestattet. Schließlich ermöglicht der eingebaute Reinigungsmodus von TEL TE 8401 eine Rückstandsentfernung mit minimalem thermischem Budget. Dies reduziert die Verunreinigungschancen und verbessert die Gleichmäßigkeit der Ätzflächen für verschiedene Anwendungen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE-8401 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für optimales Ätzen und Aschen von feinen Eigenschaften entwickelt wurde. Es verfügt über hohe Vorspannungsleistungen, hohe Gleichmäßigkeit, ein breites Ätz-/Aschefenster, eine aktive Gasmanagementmaschine und vier Betriebsarten. Dieses leistungsstarke Gerät ist ein unschätzbares Fertigungswerkzeug für präzise Ätz-/Ascheanwendungen.