Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9412380 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 ist eine Art Ätz-/Aschermaschine, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es handelt sich um ein hochpräzises Werkzeug, mit dem gemusterte Wafer von der Lithographiephase zur Abscheidephase geätzt und transportiert werden können. TEL TE 8401 verfügt über mehrere beeindruckende Merkmale, einschließlich Präzisionsinterferometrie für präzise Ätztiefenkontrolle und integrierte Ausrichtungssensoren für Substratpositioniergenauigkeit. Die Maschine hat auch eine große Kammer zum gleichmäßigen Ätzen von großflächigen Substraten. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON TE-8401 über eine saubere Trockenätzkammer, die Partikel reduziert, was zu einer besseren Prozesskontrolle und einer verbesserten Ertragssicherheit führt. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401 sehr vielseitig einsetzbar und kann mit mehreren Prozesschemien wie HF, HF/CXF, FOSR und ICP etch verwendet werden. Es unterstützt auch eine Vielzahl von verschiedenen Substratgrößen bis zu 4-Zoll und verfügt über eine präzise Prozessüberwachung und -steuerung mit einer erweiterten Steuerungsplattform. Neben seinen präzisen Ätzfähigkeiten verfügt TEL TE-8401 auch über stoßfreie Transferkomponenten und einen kundenspezifischen Mehrpunktübertragungsmechanismus, um Schäden an den Substratoberflächen zu minimieren. Dadurch wird die Ausbeute weiter erhöht, indem sichergestellt wird, dass die Substrate vor Verschmutzung und Beanspruchung geschützt sind. TE-8401 ist ein sehr zuverlässiges und präzises Ätz- und Aschewerkzeug, das speziell für den Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Die ausgezeichnete Steuerplattform und der stoßfreie Übertragungsmechanismus ermöglichen eine möglichst hohe Ausbeute. Es ist eine hervorragende Ergänzung zu jeder Halbleiteranlage, und seine Vielzahl von Prozessen und Substratgrößen machen es noch vielseitiger und zuverlässiger.