Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9016196 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die zur hochpräzisen Musterung auf einer Vielzahl von Substraten verwendet wird. Es kombiniert ein Vakuumabscheidungssystem, Substratheizung, inkrementelle Linienbreitensteuerung und andere erweiterte Funktionen, um außergewöhnliche Ätz- und Ascheleistungen zu liefern. Das Gerät ist für Substrate bis 314 mm ausgelegt und bietet Platz für Zeichnungen bis 256 mm Breite. Die Vakuumabscheidungsmaschine ist ein hocheffizienter Prozess, bei dem mehrere Materialschichten bedarfsgerecht auf dem Substrat abgeschieden werden. Dies geschieht unter Verwendung einer Hochspannungs-Gleichspannungsquelle und eines Filamentanschlusses, die ein Targetmaterial erwärmen, um eine Verdampfung oder Zerstäubung des Materials auf das Substrat zu induzieren. Das Ausgangsmaterial wird dann bei der Substrattemperatur durch einen durch einen Elektronenstrahl unterstützten Druckgradienten aufgeschmolzen oder verdampft. Dies gewährleistet eine präzise, gleichmäßige und wiederholbare Abscheidung mehrerer Schichten auf dem Substrat. TEL TE 8500 ATC verfügt über ein fortschrittliches Tool zur automatischen Schrittsteuerung (ASTC), das Linienbreiten und Schichtdicken über die gesamte Probe genau kontrollieren kann. Diese Anlage überwacht ständig die Ätzrate und passt die Ätztiefe an, um eine gleichmäßige Dicke für alle Musterschichten auf dem Substrat zu erhalten. Mit diesem Modell lassen sich konsequent Linienbreiten bis zu 50nm erreichen. Die ASTC-Ausrüstung ermöglicht auch ein schnelles Umschalten zwischen Ätz- und Ascheprozessen ohne manuellen Eingriff. Darüber hinaus ist die TE 8500 mit einem optischen Emissionsspektroskopiesystem (OES) ausgestattet, das mit einem Laser einen Strahl erzeugt, der von der Substratoberfläche gestreut wird. Dieses Streulicht wird dann durch ein optisches Filter geleitet und zur Bestimmung der Ätz- oder Aschetiefe der Verarbeitungsschicht gemessen. Dieses Verfahren ermöglicht eine feinjustierte Steuerung der Musterbreiten. TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC-Einheit eignet sich für eine Vielzahl von Branchen, wie Leiterplatten, Displays, Nanoelektronik und Halbleiterherstellung. Seine leistungsstarke Kombination aus hochpräziser Musterung, einfacher Bedienung und automatisierten Steuerungen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Anwendung, die präzises Ätzen oder Aschen erfordert. Die Maschine ist mit vertikalen oder horizontalen Montagemöglichkeiten erhältlich, was eine erhöhte Flexibilität und Integration in verschiedenste Prozesse ermöglicht.