Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC ist ein Ätzer/Ascher mit der neuesten branchenführenden Technologie entwickelt, um fortschrittliche Verarbeitungsleistung zu bieten. Die Maschine ist mit einem einzigen Sockel ausgestattet, so dass sie bis zu 8500 Wafer pro Stunde verarbeiten kann, während sie die für die fortschrittliche Gerätebearbeitung erforderlichen Spezifikationen für dichte Oberflächen- und Kantenprofile erfüllt. Darüber hinaus können die Geräte für das nasse oder trockene Prozeßätzen konfiguriert werden. Die fortschrittlichen In-situ-Sensoren wurden entwickelt, um den Ätz- und Ascheprozess genau zu erkennen und zu optimieren, um die Ätz-/Ascheperformance zu maximieren und die Partikelerzeugung zu minimieren. Das System ist auch mit einer erweiterten Reinigungsfunktion ausgestattet, die die Qualität des Ätz- und Ascheprozesses gewährleistet. Die Maschine verfügt auch über eine Schichtdickenüberwachung, die den Rückstandsgehalt auf dem Wafer nach dem Ätzen oder Aschen erkennen kann, wodurch ein versehentliches Überätzen oder Überspülen verhindert wird. Durch ständige Überwachung der Dauer und Qualität des Ätz- oder Ascheprozesses kann eine konsistente Ätz-/Aschegeschwindigkeit aufrechterhalten werden, wodurch Benutzer eine zuverlässige und wiederholbare Ätz-/Aschefunktion erhalten. TEL TE 8500 ATC ist eine vollautomatische Einheit, die auf einfache Bedienung ausgelegt ist. Es kann programmiert werden, um Ätz- oder Ashing für bestimmte Anwendungen und Materialien durchzuführen, und speichert automatisch Daten für Prozess- und Leistungsanalysen für schnellere, genauere Ergebnisse. Die Maschine verfügt auch über eine hohe Durchsatz Konnektivität Option, so dass es einfach, mit anderen TE-Systemen für Halbleiterproduktion Automatisierung zu verbinden. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC eine fortschrittliche Ätz-/Ascheleistung mit sehr wiederholbaren und zuverlässigen Ergebnissen.