Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #293642894 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC ist ein Ätzer/Ascher zur Entfernung von Materialien von einem Substrat, wie Halbleiterscheiben oder Flachbildschirmen, durch Plasmaätzen, reaktives Ionenätzen oder physikalisches Sputtern mit Argon, Sauerstoff, Stickstoff oder anderen Plasmagasen. Es ist für einen hohen Durchsatz mit seiner Fähigkeit ausgelegt, Substrate bis zu vier 300 mm Durchmesser gleichzeitig zu verarbeiten. TEL TE 8500 PATC bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die Präzisionsätzen und -veraschen, Prozesssteuerung und Automatisierung, vereinfachtes Rezept und Datenmanagement sowie Tieftemperaturverarbeitung umfassen. Das Gerät verfügt über eine High-End-Quelle, einen Plasmagenerator und eine HF-Stromquelle, um hohe Leistung, reproduzierbare und zuverlässige Ätzergebnisse zu gewährleisten. Das System bietet auch eine Hochvakuumumgebung mit einem niedrigen Basisdruck von 10 mTorr und einem schnellen Pumpzyklus mit einem Verarbeitungsdruck im Bereich zwischen 5 mTorr und 250 mTorr. Die hochauflösende optische Abbildungseinheit mit Ionenstrahl-Abbildungssensor (IBIS) soll eine kontinuierliche Rückkopplung des Ätzprozesses ermöglichen, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet es einen hohen Automatisierungsgrad mit automatisierter Be- und Entladung von Wafern/Substraten sowie ETCH Index Control (EIC), wodurch die Maschine parallel zu anderen Ätzsystemen betrieben werden kann und alle Parameter zugegriffen und gesteuert werden können. TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC hat eine kleine Stellfläche und ist so konzipiert, dass es einfach in eine Fabrik integriert werden kann. Das Tool bietet einen effizienten Energieverbrauch mit seinem eingebauten Auspuff, der Rückflüsse verhindert und den Sicherheitsvorschriften in verschiedenen Ländern entspricht. Es bietet auch eine benutzerfreundliche Oberfläche sowie eine einfach zu befolgende Bedienungsanleitung, mit der Benutzer das Modell schnell einrichten und verwenden können. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung eine breite Palette von Rezepten, die angepasst und gespeichert werden können, so dass Benutzer einen Prozess mühelos wiederholen und die Rüstzeit minimieren können. Zusammenfassend ist TE 8500 PATC ein leistungsstarker, kostengünstiger und einfach zu bedienender Ätzer/Ascher, der für die Wafer-/Substratverarbeitung entwickelt wurde. Die automatisierte Prozesssteuerung, die Niedertemperaturfähigkeit und die einfache Integration machen es zu einem idealen System für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen.