Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC #73160 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC ist eine Ätz-/Aschermaschine zur Erzeugung von Verbundhalbleitermaterial wie Aluminiumgalliumarsenid (AlGaAs) vor Ort. Diese Maschine verfügt über einen Hochleistungs-Ätz-/Asching-Prozess TEL 8500, mit dem benutzerdefinierte Halbleiterbauelemente erstellt werden. TEL TE 8500 PATC besteht aus einer Basiseinheit, die TOKYO ELECTRON 8500 Ätz-/Asching-Prozess und mehrere Halbleiter-Vorbehandlungskomponenten beherbergt. Die Basiseinheit enthält inhärent eine Vakuumkammer, eine mechanische Stufe, Sensorsteuerung und Datenerfassungssysteme. Die Basiseinheit schließt auch an mehrere externe Vorbehandlungskomponenten an, wie Vakuumpumpe, Transferstange und Ätz-/Aschewerkzeug TEL/TOKYO ELECTRON 8500 selbst. Der Vakuumkammeranteil von TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC ermöglicht einen lecktoleranten Ätz-/Asching-Prozess, bei dem ein sekundäres Ätz-/Aschegas verwendet wird. Dieses Doppelgasverfahren setzt das Substrat einer reaktiven Gasatmosphäre aus, wobei das Ausgasen aus dem Substrat minimiert wird, was zu einem Ätz-/Aschevorgang führt, der wiederholbar ist und in der Regel fehlerfreie Substrate erzeugt. Die in TE 8500 PATC enthaltene mechanische Stufe ermöglicht eine genaue Entfernung von unerwünschtem Material von der Oberfläche eines Substrats. Die Bühne ist mit mehreren rechnergesteuerten Aktoren und Sensoren gekoppelt, die eine präzise automatisierte Handhabung und Ätzung/Veraschung ermöglichen. Zusätzlich kann die Position der mechanischen Stufe während des Ätz-/Ascheprozesses leicht überwacht und eingestellt werden, um Genauigkeit und Effizienz zu gewährleisten. Die Sensorsteuereinrichtung des TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC-Systems dient der Überwachung und Wiederherstellung der Genauigkeit des Ätz-/Ascheprozesses durch Rückmeldung an die Prozesssteuerung. Diese Rückmeldung kann verwendet werden, um eventuell auftretende anormale Zustände wie verminderte Ätz-/Aschegleichförmigkeit oder Schwankungen der Ätz-/Aschegeschwindigkeit zu identifizieren. Diese Einheit hilft auch, die Möglichkeit eines Ätz-/Aschefehlers aufgrund unvorhergesehener Bedingungen zu minimieren. Die Datenerfassungsmaschine von TEL TE 8500 PATC wird verwendet, um alle verschiedenen Prozessparameter für den Ätz-/Ascheprozess wie Substrattemperatur, Gasfluss und Druck usw. zu erfassen und anzuzeigen. Diese Daten werden gespeichert und können zur Analyse des Ätz-/Ascheprozesses und zur Anpassung der Parameter verwendet werden, um die Qualität des Ätz-/Ascheprozesses zu optimieren. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TE 8500 PATC ein extrem fortschrittliches Vor-Ort-Ätz-/Aschewerkzeug für die kundenspezifische Erzeugung von Verbundhalbleitern. Durch den Einbau einer Vakuumkammer, einer mechanischen Stufe, eines Sensorsteuergerätes und eines Datenerfassungsmodells bietet diese Maschine einen effizienten Ätz-/Ascheprozess unter Wahrung einer sicheren Arbeitsumgebung und Genauigkeit des Ätzens/Aschens.