Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198 zu verkaufen

TEL TE 8500 (S) ATC ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es handelt sich um einen Hochleistungs-Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät verwendet eine Kombination aus dem Neutral Particle Semiconductor Processing Module (NPS) und einem High-Electron Multi-Trap (MET) -Untersystem, um niedrige Ätzraten, Gleichmäßigkeit und überlegene Qualität der geätzten Funktionen zu erreichen. Die NPS-Einheit besteht aus einer rotierenden optischen Emissionszelle (OEC) und einem Massenanalysator, die Partikel in den Prozessgasen zum Ätzen oder Aschen einfangen und analysieren. Diese Maschine ist in der Lage, mit verschiedenen Gasen zu arbeiten, was eine präzise Steuerung und Regelung des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC enthält auch einen Magnetfeld-basierten Ätzstopp-Mechanismus mit hoher Genauigkeit, der es dem Werkzeug ermöglicht, deterministisch und zuverlässig zu arbeiten. Die Prozesskammer kann effizient mit Prozessgasen mit geringer Reaktivität arbeiten, was eine bessere Kontrolle der Ätzrate und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die Anlage unterstützt auch sehr große Substrate und eignet sich somit ideal für große Produktionsprozesse. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC unterstützt auch eine breite Palette von Substrattemperaturen, vom Vakuum bis zu hohen Temperaturen, so dass es für eine Vielzahl von Prozessen geeignet ist. Das Modell ist mit einer Vielzahl von Glocken und Pfeifen ausgestattet, darunter eine benutzerfreundliche GUI, vorprogrammierte, hochmoderne Werkzeugsequenzen, Fehlerbehandlung, erweiterte Rezeptverwaltung und Software-Debugging-Funktionen. Darüber hinaus verfügt es über eine leistungsstarke Steuerungsplattform mit einer großen, digitalisierten Anzeigetafel und einer anpassbaren Prozessdatenbank, die auf kundenspezifische Anforderungen und Prozesse zugeschnitten ist. Darüber hinaus ist TEL TE 8500 (S) ATC mit Leistungszuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit im Auge konzipiert und verfügt über eine Reihe von Optionen, wie mehrere Kammern, programmierbare Gas- und Kammertemperaturen und Offline-Rezept-Management. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC ist ein robuster und fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es verfügt über einen modularen Aufbau, und sein hoher Durchsatz und seine verbesserte Einheitlichkeit der Funktionen ermöglichen effizientere Produktionszyklen. Sehr zuverlässig und anpassbar, ist die Ausrüstung gut für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und ist eine gute Wahl für Halbleiterunternehmen, die ihre Produktionskapazitäten erhöhen möchten.